[发明专利]一种防止变形的半导体生产加工用设备及其使用方法有效

专利信息
申请号: 201911164986.5 申请日: 2019-11-25
公开(公告)号: CN111029293B 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 王振国 申请(专利权)人: 大同新成新材料股份有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/48
代理公司: 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 代理人: 杨凯;连慧敏
地址: 037002 *** 国省代码: 山西;14
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 防止 变形 半导体 生产 工用 设备 及其 使用方法
【权利要求书】:

1.一种防止变形的半导体生产加工用设备,包括底板(2)、顶板(3)、支杆(4)以及两组夹紧组件,其特征在于:所述底板(2)、顶板(3)均为矩形板状、并互相平行设置,底板(2)和顶板(3)之间通过支杆(4)固定,所述底板(2)的底面中部、顶板(3)的顶面中部均安装转动电机(6),两组夹紧组件对称设在底板(2)和顶板(3)之间,且两个夹紧组件均与转动电机(6)的输出轴驱动联接;

所述夹紧组件包括转盘(10)、第一推杆(12)、安装架(15)以及调节机构,所述转盘(10)的中部与电机(6)的输出轴驱动联接,转盘(10)远离电机(6)的输出轴的一侧固定第一推杆(12),第一推杆(12)的伸缩杆固定有安装架(15),所述安装架(15)为十字架结构,且安装架(15)的各个端杆均沿长度方向开设通孔(18),所述安装架(15)的两侧均安装调节机构;

所述调节机构包括齿轮(23)、电机(24)以及两块齿板(16),所述齿轮(23)转动安装在安装架(15)的中部,两块齿板(16)沿同一方向设置、并分别滑动设在安装架(15)的相对两端 杆上,两块齿板(16)分别与齿轮(23)的两侧啮合;

所述齿板(16)远离齿轮(23)的一段固定有活动块(17),所述活动块(17)与同侧的通孔(18)滑动连接,且每个活动块(17)上均固定有夹紧杆(14),每组调节机构内的夹紧杆(14)末端端面均在同一水平面上;

所述活动块(17)上开设安装孔,活动块(17)上安装第二推杆(13),所述第二推杆(13)的伸缩端穿过安装孔、并与对应的夹紧杆(14)连接。

2.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:所述夹紧杆(14)包括底杆(20)、弹簧(21)、夹紧头(22)以及插杆(25),所述底杆(20)与活动块(17)连接,底杆(20)远离安装架(15)的一侧开设插槽,插槽内连接有弹簧(21),弹簧(21)的末端连接有与插槽滑动连接的插杆(25),插杆(25)的末端固定弹性的夹紧头(22)。

3.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:所述安装架(15)的各个端杆之间通过弧形的肋板(19)固定,所述第一推杆(12)的伸缩端与肋板(19)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:所述底板(2)以及顶板(3)之间的两侧均设有两根支杆(4),位于同侧的两根支杆(4)中部均滑动设有活动插板(7),两块活动插板(7)可滑动拼接成矩形板,且活动插板(7)位于两组夹紧组件之间,所述支杆(4)上安装固定活动插板(7)的定位件。

5.根据权利要求4所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:两块活动插板(7)相远离的一侧均开设两个条形缺口(8),两个条形缺口(8)分别与两根支杆(4)滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:位于活动插板(7)两侧的支杆(4)为螺柱状、并螺旋配合有固定螺母(9),其中同一支杆(4)上、并位于活动插板(7)两侧的固定螺母(9)旋转靠近以夹紧活动插板(7)。

7.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:所述支杆(4)的底端均穿过底板(2)、并固定有支撑柱(1)。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一:正常通电工作,夹紧组件内的电机(24)工作,驱动齿轮(23)转动,从而驱动对应的齿板(16)沿着安装架(15)各个端杆的延伸方向滑动,调节各个活动块(17)的位置,方便夹紧半导体封装;

步骤二:将待加工的半导体封装放置在下方夹紧组件内各个夹紧杆(14)的顶面,使得两个夹紧组件内的第一推杆(12)的伸缩端 顶出,驱动两个夹紧组件相靠近,当上方夹紧组件内各个夹紧杆(14)的端面压紧在半导体封装上方即可;

步骤三:使得转动电机(6)工作,驱动两个夹紧组件转动,从而带动半导体封装转动,以调节半导体封装到合适位置,便于对半导体封装四周的引脚进行剪切。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大同新成新材料股份有限公司,未经大同新成新材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911164986.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top