[发明专利]一种防止变形的半导体生产加工用设备及其使用方法有效
申请号: | 201911164986.5 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN111029293B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 王振国 | 申请(专利权)人: | 大同新成新材料股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/48 |
代理公司: | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人: | 杨凯;连慧敏 |
地址: | 037002 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 变形 半导体 生产 工用 设备 及其 使用方法 | ||
1.一种防止变形的半导体生产加工用设备,包括底板(2)、顶板(3)、支杆(4)以及两组夹紧组件,其特征在于:所述底板(2)、顶板(3)均为矩形板状、并互相平行设置,底板(2)和顶板(3)之间通过支杆(4)固定,所述底板(2)的底面中部、顶板(3)的顶面中部均安装转动电机(6),两组夹紧组件对称设在底板(2)和顶板(3)之间,且两个夹紧组件均与转动电机(6)的输出轴驱动联接;
所述夹紧组件包括转盘(10)、第一推杆(12)、安装架(15)以及调节机构,所述转盘(10)的中部与电机(6)的输出轴驱动联接,转盘(10)远离电机(6)的输出轴的一侧固定第一推杆(12),第一推杆(12)的伸缩杆固定有安装架(15),所述安装架(15)为十字架结构,且安装架(15)的各个端杆均沿长度方向开设通孔(18),所述安装架(15)的两侧均安装调节机构;
所述调节机构包括齿轮(23)、电机(24)以及两块齿板(16),所述齿轮(23)转动安装在安装架(15)的中部,两块齿板(16)沿同一方向设置、并分别滑动设在安装架(15)的相对两端 杆上,两块齿板(16)分别与齿轮(23)的两侧啮合;
所述齿板(16)远离齿轮(23)的一段固定有活动块(17),所述活动块(17)与同侧的通孔(18)滑动连接,且每个活动块(17)上均固定有夹紧杆(14),每组调节机构内的夹紧杆(14)末端端面均在同一水平面上;
所述活动块(17)上开设安装孔,活动块(17)上安装第二推杆(13),所述第二推杆(13)的伸缩端穿过安装孔、并与对应的夹紧杆(14)连接。
2.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:所述夹紧杆(14)包括底杆(20)、弹簧(21)、夹紧头(22)以及插杆(25),所述底杆(20)与活动块(17)连接,底杆(20)远离安装架(15)的一侧开设插槽,插槽内连接有弹簧(21),弹簧(21)的末端连接有与插槽滑动连接的插杆(25),插杆(25)的末端固定弹性的夹紧头(22)。
3.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:所述安装架(15)的各个端杆之间通过弧形的肋板(19)固定,所述第一推杆(12)的伸缩端与肋板(19)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:所述底板(2)以及顶板(3)之间的两侧均设有两根支杆(4),位于同侧的两根支杆(4)中部均滑动设有活动插板(7),两块活动插板(7)可滑动拼接成矩形板,且活动插板(7)位于两组夹紧组件之间,所述支杆(4)上安装固定活动插板(7)的定位件。
5.根据权利要求4所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:两块活动插板(7)相远离的一侧均开设两个条形缺口(8),两个条形缺口(8)分别与两根支杆(4)滑动连接。
6.根据权利要求5所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:位于活动插板(7)两侧的支杆(4)为螺柱状、并螺旋配合有固定螺母(9),其中同一支杆(4)上、并位于活动插板(7)两侧的固定螺母(9)旋转靠近以夹紧活动插板(7)。
7.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备,其特征在于:所述支杆(4)的底端均穿过底板(2)、并固定有支撑柱(1)。
8.根据权利要求1-7任一所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:正常通电工作,夹紧组件内的电机(24)工作,驱动齿轮(23)转动,从而驱动对应的齿板(16)沿着安装架(15)各个端杆的延伸方向滑动,调节各个活动块(17)的位置,方便夹紧半导体封装;
步骤二:将待加工的半导体封装放置在下方夹紧组件内各个夹紧杆(14)的顶面,使得两个夹紧组件内的第一推杆(12)的伸缩端 顶出,驱动两个夹紧组件相靠近,当上方夹紧组件内各个夹紧杆(14)的端面压紧在半导体封装上方即可;
步骤三:使得转动电机(6)工作,驱动两个夹紧组件转动,从而带动半导体封装转动,以调节半导体封装到合适位置,便于对半导体封装四周的引脚进行剪切。
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