[发明专利]显示器及其制备方法在审
申请号: | 201911163923.8 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN111029475A | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 张树仁 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示器 及其 制备 方法 | ||
本发明提供了一种显示器及其制备方法,所述制备方法包括:S10提供基板;S20形成第一电极层及像素定义层于所述基板上;S30形成量子点层,对应所述第一电极层,配置于所述像素定义层定义的凹槽中;S40形成缓冲层于所述像素定义层及所述量子点层上;S50溅镀形成氧化锌层于所述缓冲层上;以及S60形成第二电极层于所述氧化锌层上。
技术领域
本发明涉及一种显示器及其制备方法,尤其涉及一种量子点发光二极体显示器及其制备方法。
背景技术
氧化锌(ZnO)具有和量子点(quantum-dot,QD)匹配的导带能级和更高的载流子迁移率,是适用于量子点发光二极体(quantum-dot light-emitting diode,QLED)的最佳电子传输(electron transporting,HT)材料。一般ZnO薄膜都是通过溶液沉积的方式制备,且量产着重的方向在于开发适合喷墨打印(ink-jet printing,IJP)的ZnO墨水。但目前开发的ZnO墨水并不成熟,器件性能和打印性能无法兼顾,而且需要低温保存,稳定性较差,限制QLED的商业化。溅镀(sputter)虽然能沉积致密均一的ZnO薄膜,但通常需要高温热退火来提高ZnO薄膜性能,QDs层一般无法承受退火温度,同时,溅镀制程产生的高能粒子可能会破坏下面的QDs层,影响器件性能。
为了解决在实际喷墨打印的量子点发光二极体显示器中,以溅镀的方式形成氧化锌薄膜而对量子点层的破坏,亟需一种崭新的显示器及显示器的制备方法来解决上述问题。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种显示器及其制备方法,采用溅镀的方式取代喷墨打印(ink-jet printing,IJP)技术制备氧化锌薄膜,溅镀制程需要对工作压力、氧分压和薄膜厚度进行精确调控,才能得到高结晶度和导电性的氧化锌薄膜。本发明在所提供的量子点发光二极体显示器中,另增加了缓冲层,既能保护量子点层,又能调控载流子平衡,如此一来,避免了因溅镀氧化锌而对量子点层造成的破坏,可显着改善薄膜均一性,从而改善显示器亮度均一性和色度均匀性,提高器件性能。
据此,依据本发明的一实施例,本发明提供了一种显示器,包括;基板;量子点层配置于所述基板上;缓冲层配置于所述量子点层上;以及氧化锌层配置于所述缓冲层上。
在本发明的一实施例中,在所述基板与所述量子点层之间,所述显示器更包括:第一电极层及像素定义层,配置于所述基板上,其中所述像素定义层在所述基板上定义出凹槽,且所述第一电极层与所述像素定义层交错配置,以及所述量子点层对应所述第一电极层且配置于所述凹槽中。
在本发明的一实施例中,所述显示器更包括:第二电极层配置于所述氧化锌层上。
在本发明的一实施例中,所述缓冲层配置于所述像素定义层及所述量子点层上;所述氧化锌层配置于所述缓冲层上;以及所述第二电极层配置于所述氧化锌层上。
在本发明的一实施例中,所述缓冲层包括有机电子传输层材料,以及所述基板包括电晶体基板。
依据本发明的另一实施例,本发明提供了一种显示器的制备方法,包括:S10提供基板;S20形成第一电极层及像素定义层于所述基板上,其中所述像素定义层在所述基板上构成凹槽,且所述第一电极层与所述像素定义层交错配置;S30形成量子点层,对应所述第一电极层且配置于所述凹槽中;S40形成缓冲层于所述像素定义层及所述量子点层上;S50以溅镀方式形成氧化锌层于所述缓冲层上;以及S60形成第二电极层于所述氧化锌层上。
在本发明的一实施例中,步骤S20包括:S201形成第一电极层于所述基板上;S202对所述第一电极材料层进行图案化,以形成第一电极层;以及S203形成像素定义层于所述第一电极层之间,使所述第一电极层与所述像素定义层交错配置,且所述像素定义层在所述基板上构成凹槽。
在本发明的一实施例中,在步骤S30中,对应第一电极层,以打印的方式形成量子点层于所述凹槽中。
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