[发明专利]一种紫外成像仪灵敏度的检测系统及方法

说明书

本发明公开了一种紫外成像仪灵敏度的检测系统及方法。本发明的检测系统包括光源、衰减片、积分球和光功率计；所述的光源为光强可调紫外光源；所述的衰减片与积分球组成衰减系统；所述的积分球设有入光孔、第一出光孔和第二出光孔，所述的入光孔处放置光源，第二出光孔处放置光功率计；所述的入光孔上放置第一衰减片，第一出光孔上放置第二衰减片；光源信号通过第一衰减片后进入积分球，在积分球内再次衰减后射出，经第二衰减片后进入待测设备。本发明实现了紫外成像仪最低探测灵敏度的精确检测。本发明利用积分球均匀光源的特性，可以避免衰减片叠加使用过程中造成的光衰减不定量、衰减后光强分布不均匀等问题。

技术领域

本发明属于紫外成像仪的检测领域，具体地说是一种紫外成像仪灵敏度的检测系统及方法。

背景技术

紫外成像仪灵敏度的检测需要极微弱的信号，一般通过使用衰减片来实现信号的衰减。常见衰减片分为透射式衰减片和反射式衰减片：透射式衰减片衰减系数有限，不适于极微弱信号的系统；反射式衰减片衰减系数较大，但如需过获得极微信的信号，则需要将衰减片叠加使用。衰减片叠加使用可以衰减信号，但衰减幅度不可连续调节；此外，衰减片叠加的使用方式，使得光源经衰减片衰减后存在衰减不定量、光强分布不均匀等问题。

中国专利申请号201710744780公开了一种日盲紫外相机检测灵敏度测试系统及测试方法，在该专利文献中，前端光源使用激光泵浦宽带光源、双级联单色仪、积分球等产生单色紫外光源；中间通过衰减片对光源进行衰减；后端通过串口读取光子数。该系统灵敏度计算方式为：通过寻找暗环境和亮环境条件下光子数相等的方式，来等效评估待测设备灵敏度。

该方案前端系统对设备要求高；中间用了衰减片叠加的方式实现光源信号的衰减。衰减片有一定的衰减系数，但衰减幅度不可连续调节，且系统测试时需要反复更换衰减片，增加了实际操作的难度。

中国专利公告号CN105388610B公开了一种连续可调光强的光衰减装置，该专利提到一种利用积分球组进行信号衰减的装置，但该专利使用多个积分球进行组合的方式实现光源调节。使用积分球组进行信号衰减，一方面积分球加工成本提高；另一方面，多个积分球的组合，使得整个测试系统体积较大。

此外，为了避免衰减片叠加使用时的相互干扰，有方案将衰减片以一定的角度倾斜放置实现系统信号衰减，使用该倾斜放置的方式虽然可以一定程度上减小衰减片之间的相互干扰，但后会对衰减片标称的衰减性能产生影响。

综述，上述现有技术存在的问题如下：

1.目前，紫外成像仪灵敏度检测方案有限：紫外光灵敏度检测要求检测信号达到光子量级，对检测光源和计量设备要求较高，普通光源与计量设备难以实现，计量结果难以计量和溯源。

2.现有方案中，有利用叠加反射式衰减片的方式进行信号衰减的方案，该方案可以实现信号的衰减，但衰减幅度不可连续调节，且衰减片叠加使用，容易相互干扰，造成光衰减不定量、衰减后光强分布不均匀等缺点。

3.现有方案中，有利用积分球组实现信号衰减的方案，积分球组加工成本高、组合使用系统体积较大。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服上述现有技术存在的缺陷，提供一种紫外成像仪灵敏度的检测系统及方法，本发明先通过衰减片与积分球组合进行信号衰减，再通过可调紫外光源对信号强度进行微调，实现紫外光最小灵敏度的精确检测。本方案，光源经系统衰减后，强度均匀、稳定，衰减幅度连续可调，检测结果可计量。

为此，本发明采用的技术方案如下：一种紫外成像仪灵敏度的检测系统，其包括光源、衰减片、积分球和光功率计；

所述的光源为光强可调紫外光源；

所述的衰减片与积分球组成衰减系统；

所述的积分球设有入光孔、第一出光孔和第二出光孔，所述的入光孔处放置光源，第二出光孔处放置光功率计；