[发明专利]滤波电路以及半导体设备

说明书

本发明提供一种滤波电路以及半导体设备，该滤波电路包括阻抗传感器、可调电感、可调电感控制器，其中，所述可调电感包括：磁芯、线圈、第一调节结构、第二调节结构，所述线圈缠绕在所述磁芯上，所述第一调节结构用于调节所述线圈接入所述滤波电路的长度，所述第二调节结构用于调节所述磁芯以改变所述可调电感的磁阻；所述阻抗传感器用于检测所述滤波电路的总阻抗值，并将所述总阻抗值发送给所述可调电感控制器；所述可调电感控制器用于在所述总阻抗不等于所述总阻抗设定值时，先后调节所述第一调节结构与所述第二调节结构，使所述总阻抗达到所述总阻抗设定值。通过本发明提高了滤波电路的滤波效果。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种滤波电路以及半导体设备。

背景技术

随着半导体元器件制造工艺的迅速发展，对元器件性能与集成度要求越来越高，使得等离子体技术得到了广泛的应用。在等离子体刻蚀系统中，腔室中的交流滤波器主要实现对加热信号的滤波。交流滤波器的每一路滤波网络的阻抗值会影响腔室下电极阻抗值，即如果同一个交流滤波器每一路滤波网络的阻抗值不同，或两个交流滤波器之间序号相同但是同一路滤波网络的阻抗值有差别，则腔室的工艺一致性也会相应受到影响。

如图1所示，现有滤波网络的电路结构包括：RF(Radio Frequency，射频)信号输入端1’，固定电感2’，固定电容3’，接地端4’，交流供电端5’。滤波网络采用传统感容网络实现低通滤波功能，即13.56MHz或2MHz的射频信号无法通过滤波网络影响交流供电端。滤波电路首先关注对特定频率的滤波特性，如对13.56MHz频率进行滤波，需要以13.56MHz为中心频率，设计滤波电路。首先需要保证滤波器每一路通道的滤波特性参数均小于-38dB。其次，由于当前滤波电路为一阶低通滤波电路，结构简单，因此为了达到滤波网络阻抗的一致性，需对各元器件的一致性进行严格考察。

现有的滤波网络结构简单，可达到低通滤波的效果，但是有其固有的局限。例如在滤波网络中不同通道固定电感2’的绕线方式会有细微的差别，不同通道固定电容3’的值也会有差异。除此之外，相同型号不同滤波器内部的走线也会存在不可控的区别，以上的三种不一致性因素均会导致每个通道与每个通道之间的阻抗值产生不同，进而影响腔室下电极阻抗，最终造成工艺的不一致性。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种滤波电路以及半导体设备。

为实现本发明的目的而提供一种滤波电路，包括：阻抗传感器、可调电感、可调电感控制器，其中，

所述可调电感包括：磁芯、线圈、第一调节结构、第二调节结构，所述线圈缠绕在所述磁芯上，所述第一调节结构用于调节所述线圈接入所述滤波电路的长度，所述第二调节结构用于调节所述磁芯以改变所述可调电感的磁阻；

所述阻抗传感器用于检测所述滤波电路的总阻抗值，并将所述总阻抗值发送给所述可调电感控制器；

所述可调电感控制器用于判断所述总阻抗值是否等于预置的总阻抗设定值，并在所述总阻抗值不等于所述总阻抗设定值时，先通过所述第一调节结构调节所述线圈接入所述滤波电路的长度，再通过二调节结构调节所述磁芯以改变所述可调电感的磁阻，以调整所述可调电感的电感值，使所述总阻抗值达到所述总阻抗设定值。。

优选地，所述第一调节结构包括：第一驱动组件、多个调节滑块，其中，

所述多个调节滑块可分别与所述线圈的不同区域电连接并在该区域内滑动；

所述第一驱动组件用于选择性地驱动所述多个调节滑块中的一个调节滑块与所述线圈电连接，并控制驱动该调节滑块在所述线圈上与该调节滑块对应的区域内滑动。

优选地，所述调节滑块包括滑块本体和至少两个金属滑片，所述至少两个金属滑片均设置在所述滑块本体的侧壁上，所述调节滑块与所述线圈电连接时，所述至少两个金属滑片从所述线圈的两侧与所述线圈电接触。