[发明专利]滤波电路以及半导体设备

权利要求书

1.一种滤波电路，其特征在于，包括：阻抗传感器、可调电感、可调电感控制器，其中，

所述可调电感包括：磁芯、线圈、第一调节结构、第二调节结构，所述线圈缠绕在所述磁芯上，所述第一调节结构用于调节所述线圈接入所述滤波电路的长度，所述第二调节结构用于调节所述磁芯以改变所述可调电感的磁阻；

所述阻抗传感器用于检测所述滤波电路的总阻抗值，并将所述总阻抗值发送给所述可调电感控制器；

所述可调电感控制器用于判断所述总阻抗值是否等于预置的总阻抗设定值，并在所述总阻抗值不等于所述总阻抗设定值时，先通过所述第一调节结构调节所述线圈接入所述滤波电路的长度，再通过二调节结构调节所述磁芯以改变所述可调电感的磁阻，以调整所述可调电感的电感值，使所述总阻抗值达到所述总阻抗设定值。

2.根据权利要求1所述的滤波电路，其特征在于，所述第一调节结构包括：第一驱动组件、多个调节滑块，其中，

所述多个调节滑块可分别与所述线圈的不同区域电连接并在该区域内滑动；

所述第一驱动组件用于选择性地驱动所述多个调节滑块中的一个调节滑块与所述线圈电连接，并控制驱动该调节滑块在所述线圈上与该调节滑块对应的区域内滑动。

3.根据权利要求2所述的滤波电路，其特征在于，所述调节滑块包括滑块本体和至少两个金属滑片，所述至少两个金属滑片均设置在所述滑块本体的侧壁上，所述调节滑块与所述线圈电连接时，所述至少两个金属滑片从所述线圈的两侧与所述线圈电接触。

4.根据权利要求1所述的滤波电路，其特征在于，所述磁芯内设置有空腔；

所述第二调节结构包括：第二驱动组件、磁阻调整板，其中，

所述磁阻调整板可转动地设置在所述空腔中，所述磁阻调整板的磁导率小于所述磁芯的磁导率；

所述第二驱动组件用于驱动所述磁阻调整板转动，调节所述磁阻调整板的板面与所述磁芯的径向截面之间的夹角，以改变所述可调电感的磁阻。

5.根据权利要求4所述的滤波电路，其特征在于，所述磁阻调整板的材料包括树脂。

6.根据权利要求4所述的滤波电路，其特征在于，所述磁阻调整板的厚度小于或等于1cm。

7.根据权利要求1-6所述的滤波电路，其特征在于，还包括：固定电感，所述固定电感串接在所述阻抗传感器和所述可调电感之间。

8.根据权利要求1-6所述的滤波电路，其特征在于，滤波电路中的滤波电容为固定电容，所述可调电感与所述固定电容的一端连接，所述固定电容的另一端接地。

9.一种半导体设备，其特征在于，包括：射频源、交流滤波器以及权利要求1-8任一项所述的滤波电路，所述射频源通过所述滤波电路连接至所述交流滤波器。