[发明专利]承载装置的移送设备及具备其的承载装置的移送系统

权利要求书

1.一种承载装置的移送设备，其特征在于，

包括：

驱动轮，在设置于天花板的一对轨道上移动；

驱动控制部，控制设置在两侧面的所述驱动轮；

主体部，与所述驱动控制部的下部结合，抓取收纳晶片的承载装置而移送；及

导轮，具有：内侧磁芯，以垂直于所述驱动轮的方向而与所述驱动控制部的下部面结合，形成为轮子形状，在外围面形成凹部与凸部中的至少一个；及外层部件，内侧面与所述内侧磁芯的外围面形状咬合。

2.根据权利要求1所述的承载装置的移送设备，其特征在于，

对于在所述内侧磁芯的外围面形成所述凹部的情况，所述凹部形成于所述内侧磁芯的外围面中央，或侧重形成于所述内侧磁芯的外围面一侧。

3.根据权利要求2所述的承载装置的移送设备，其特征在于，

对于所述凹部侧重形成于所述内侧磁芯的外围面一侧的情况，所述导轮使所述凹部朝向上方而与所述驱动控制部结合。

4.根据权利要求1所述的承载装置的移送设备，其特征在于，

对于在所述内侧磁芯的外围面一起形成所述凹部与所述凸部的情况，所述凹部与所述凸部交替形成于所述内侧磁芯的外围面。

5.根据权利要求1所述的承载装置的移送设备，其特征在于，

所述外层部件具有凸起的外形。

6.根据权利要求1所述的承载装置的移送设备，其特征在于，

所述外层部件与所述内侧磁芯的外围面粘结接合。

7.一种承载装置的移送系统，其特征在于，

包括：

轨道支撑部，设置在天花板；

一对轨道，通过所述轨道支撑部支撑；及

承载装置的移送设备，沿着所述轨道行驶而移送供收纳晶片的承载装置，

所述承载装置的移送设备包括：

驱动轮，在所述轨道上移动；

驱动控制部，控制设置在两侧面的所述驱动轮；

主体部，与所述驱动控制部的下部结合，抓取所述承载装置而移送；及

导轮，具有内侧磁芯，以垂直于所述驱动轮的方向而与所述驱动控制部的下部面结合，形成为轮子形状，在外围面形成凹部与凸部中的至少一个；及外层部件，内侧面与所述内侧磁芯的外围面形状咬合。

8.根据权利要求7所述的承载装置的移送系统，其特征在于，

对于在所述内侧磁芯的外围面形成所述凹部的情况，所述凹部形成于所述内侧磁芯的外围面中央，或侧重形成于所述内侧磁芯的外围面一侧。

9.根据权利要求8所述的承载装置的移送系统，其特征在于，

对于所述凹部侧重形成于所述内侧磁芯的外围面一侧的情况，所述导轮使所述凹部朝向上方而与所述驱动控制部结合。

10.根据权利要求7所述的承载装置的移送系统，其特征在于，

对于在所述内侧磁芯的外围面一起形成所述凹部与所述凸部的情况，所述凹部与所述凸部交替形成于所述内侧磁芯的外围面。