[发明专利]一种高通量表征成分梯度薄膜抗辐照性能的方法

权利要求书

1.一种高通量表征成分梯度薄膜抗辐照性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、将制备好的成分梯度薄膜放置于原子力显微镜中进行厚度的表征或者放置于薄膜电阻面扫设备中进行电阻值的测量；

步骤2、将经一定辐照剂量曝光后的成分梯度薄膜放置于原子力显微镜中进行厚度的表征或者放置于薄膜电阻面扫设备中进行电阻值的测量；

步骤3、将步骤2测量的厚度值减去步骤1测量的厚度值，得出厚度的变化即辐照肿胀程度，或者将步骤2测量的电阻值减去步骤1测量的电阻值，得出电阻值的变化即辐照肿胀程度；

步骤4、厚度变化越大或者电阻值变化越大即辐照肿胀程度越严重，该成分抗辐照性能越差。

2.根据权利要求1所述的高通量表征成分梯度薄膜抗辐照性能的方法，其特征在于，步骤1中成分梯度薄膜的制备采用喷涂法、激光熔覆法、溶胶-凝胶法或者磁控溅射法。

3.根据权利要求1所述的高通量表征成分梯度薄膜抗辐照性能的方法，其特征在于，步骤1和步骤2中的原子力显微镜包括激光器、微悬臂、压电扫描器、光电检测器管。

4.根据权利要求1所述的高通量表征成分梯度薄膜抗辐照性能的方法，其特征在于，步骤1和步骤2中的薄膜电阻面扫设备包括电阻取样装置、A/D转换装置、计算机滤波处理装置。