[发明专利]输送装置

说明书

一种输送装置，包含驱转机构、主动臂、从动臂、载物模块及连动机构。主动臂具有直立设置并受驱转机构驱动旋转的第一转轴，及水平设置并与第一转轴连动旋转的第一臂体。从动臂具有与第一臂体可转动地连接的第二转轴，及与第二转轴连动旋转的第二臂体。载物模块具有与第二臂体可转动地连接的第三转轴，及与第三转轴连动旋转的托盘。连动机构包括第一连动模块及第二连动模块。第一连动模块设于第一臂体以连动第二转轴与第一转轴反向旋转。第二连动模块设于第二臂体以连动第三转轴与第二转轴反向旋转。通过驱转机构驱动主动臂转动可带动从动臂及载物模块转动，且载物模块能通过同一动力源同时移动位置并改变传送方向，借此减少机构动作和运送时间。

技术领域

本发明涉及一种输送装置，特别是涉及一种以单一动力源旋转运输的输送装置。

背景技术

在半导体制程中，常需要将基板在不同工作站之间传递以进行不同的制程。由于各工作站的机台摆设的位置可能使基板进出的方向不在同一直线，例如自第一工作站移到第二工作站时，基板进出第二工作站的机台的方向需要转90度。

目前如前述例子将基板自第一工作站移动至第二工作站并旋转角度所采用的方式，是先将基板以一直线运送装置自第一工作站传送至第二工作站后，再另外利用一旋转装置将基板旋转90度后输送至第二工作站的机台。这样通过直线运送装置加上旋转装置共同完成传输基板的方式，使得整体传输设备较为复杂。

发明内容

本发明的其中一目的在于提供一种利用单一动力源达到将待运送物件移动位置及改变传送方向功能的输送装置。

本发明的输送装置在一些实施态样中，是包含驱转机构、主动臂、从动臂、载物模块及连动机构。该主动臂具有第一转轴及第一臂体，该第一转轴直立设置并受该驱转机构驱动旋转，该第一臂体水平设置且连接该第一转轴并与该第一转轴连动旋转。该从动臂具有第二转轴及第二臂体，该第二转轴直立设置且与该第一臂体可转动地连接，该第二臂体水平设置且连接该第二转轴并与该第二转轴连动旋转。该载物模块具有第三转轴及托盘，该第三转轴直立设置且与该第二臂体可转动地连接，该托盘水平设置且连接该第三转轴并与该第三转轴连动旋转，该托盘具有供待运送物件直线移动进出的出入路径。该连动机构包括第一连动模块及第二连动模块。该第一连动模块设于该第一臂体且具有第一驱动轮及第一传动组件，该第一驱动轮与该第一转轴同轴设置，该第一传动组件连接该第一驱动轮及该第二转轴以使该第一驱动轮能连动该第二转轴旋转，且该第二转轴的旋转方向与该第一转轴相反。该第二连动模块设于该第二臂体且具有第二驱动轮及第二传动组件，该第二驱动轮与该第二转轴同轴设置，该第二传动组件连接该第二驱动轮及该第三转轴以使该第二驱动轮能连动该第三转轴旋转，且该第三转轴的旋转方向与该第二转轴相反。

在一些实施态样中，该驱转机构包括基座，该第一驱动轮固定地连接该基座，该第二驱动轮固定地连接该第一臂体；定义该第一驱动轮的转动半径为wr1、该第二转轴的转动半径为sr2、该第二驱动轮的转动半径为wr2、该第三转轴的转动半径为sr3；当该主动臂相对参考轴线的旋转角度为θ1时，该托盘被连动而相对该参考轴线的旋转角度为θ3，其中θ3＝θ1×(1-wr1/sr2+wr1wr2/sr2sr3)。

在一些实施态样中，该第一转轴的轴心和该第二转轴的轴心之间的距离等于该第二转轴的轴心和该第三转轴的轴心之间的距离。

在一些实施态样中，wr1：sr2＝2：1；wr2：sr3＝3：4。

本发明至少具有以下功效：通过该驱转机构驱动该主动臂转动即可带动该从动臂及该载物模块转动，且该载物模块能通过同一动力源同时移动位置并改变传送方向，不仅能减少机构动作，也能减少运送时间。

附图说明

本发明的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是本发明输送装置的实施例的立体示意图；及

图2至图5是说明该实施例在不同转动位置的俯视示意图。