[发明专利]输送装置有效
申请号: | 201911146548.6 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN112824267B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 蔡文平;李威震 | 申请(专利权)人: | 辛耘企业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B65G35/00;B65G47/244 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 张雅军;孙金瑞 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 输送 装置 | ||
1.一种输送装置,其特征在于:包含:
驱转机构,包括基座;
主动臂,具有第一转轴及第一臂体,该第一转轴直立设置并受该驱转机构驱动旋转,该第一臂体水平设置且连接该第一转轴并与该第一转轴连动旋转;
从动臂,具有第二转轴及第二臂体,该第二转轴直立设置且与该第一臂体可转动地连接,该第二臂体水平设置且连接该第二转轴并与该第二转轴连动旋转;
载物模块,具有第三转轴及托盘,该第三转轴直立设置且与该第二臂体可转动地连接,该托盘水平设置且连接该第三转轴并与该第三转轴连动旋转,该托盘具有供待运送物件直线移动进出的出入路径;及
连动机构,包括
第一连动模块,设于该第一臂体且具有第一驱动轮及第一传动组件,该第一驱动轮固定地连接该基座并与该第一转轴同轴设置,该第一传动组件连接该第一驱动轮及该第二转轴以使该第一驱动轮能连动该第二转轴旋转,且该第二转轴的旋转方向与该第一转轴相反,及
第二连动模块,设于该第二臂体且具有第二驱动轮及第二传动组件,该第二驱动轮固定地连接该第一臂体并与该第二转轴同轴设置,该第二传动组件连接该第二驱动轮及该第三转轴以使该第二驱动轮能连动该第三转轴旋转,且该第三转轴的旋转方向与该第二转轴相反;
定义该第一驱动轮的转动半径为wr1、该第二转轴的转动半径为sr2、该第二驱动轮的转动半径为wr2、该第三转轴的转动半径为sr3,其中wr1:sr2=2:1;wr2:sr3=3:4。
2.根据权利要求1所述输送装置,其特征在于:该第一转轴的轴心和该第二转轴的轴心之间的距离等于该第二转轴的轴心和该第三转轴的轴心之间的距离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造