[发明专利]一种抱持晶圆盒的升降模组

权利要求书

1.一种抱持晶圆盒的升降模组，其特征在于，包括：

安装座（1），所述安装座（1）设有电机安装区域及升降装置安装区域，所述电机安装区域固定安装有变速电机机构（4），安装座（1）上固接有支撑板（3）；

垂直升降机构（5），所述垂直升降机构（5）固定安装于所述升降装置安装区域，所述垂直升降机构（5）上端部固接有安装板（6），所述垂直升降机构（5）带动安装板（6）沿竖直方向运动；

短程气缸机构（7），所述短程气缸机构（7）固定于安装板（6）的上端部；

对开滑动结构（8），所述对开滑动结构（8）固定于安装板（6）上且位于短程气缸机构（7）的下方；以及

对开托架结构（9），所述对开托架结构（9）固定于对开滑动结构（8）上，对开托架结构（9）包括第一托架组件及与第一托架组件结构相同且对称设置的第二托架组件，第一托架组件与第二托架组件之间连接有连接块（93），且第一托架组件与第二托架组件均与连接块（93）活动连接；

所述垂直升降机构（5）包括安装盒（51），所述安装盒（51）沿竖直方向安装于安装座（1）上，所述安装盒（51）内安装有升降气缸（52），所述升降气缸（52）设有第一升降杆（54）与第二升降杆（55），所述第一升降杆（54）与第二升降杆（55）一端均向上延伸穿过安装盒（51）；

所述短程气缸机构（7）包括短程气缸（72），所述短程气缸（72）设有伸缩的活塞杆（73），所述活塞杆（73）末端固接于连接块（93）上;

所述安装板（6）上固接有条形滑轨（81），所述条形滑轨（81）上滑动连接有第一滑动组件及与所述第一滑动组件结构相同且对称设置的第二滑动组件;第一滑动组件包括第一滑块（821），所述第一滑块（821）活动式卡接于条形滑轨（81）上;所述第一托架组件包括第一L型连接块（911），所述第一L型连接块（911）固定于第一滑块（821）上，所述第一L型连接块（911）一侧面固接有第一L型曲柄（912），所述第一L型曲柄（912）一端活动连接于连接块（93）上，所述第一L型连接块（911）另一侧面上固接有第一托架（913）。

2.如权利要求1所述的抱持晶圆盒的升降模组，其特征在于，所述安装盒（51）一表面开设有两条对称的滑道，升降气缸（52）上固接有两条固定条（53），所述固定条（53）穿过所述滑道且高于安装盒（51）表面。

3.如权利要求1所述的抱持晶圆盒的升降模组，其特征在于，所述安装盒（51）的上端部固接有第一传感器（57），所述第一传感器（57）用来检测对开托架结构（9）的初始位置，位于所述第一传感器（57）下方固接有第二传感器（58），所述第二传感器（58）用以检测对开托架结构（9）终点位置。

4.如权利要求1所述的抱持晶圆盒的升降模组，其特征在于，所述变速电机机构（4）包括变速电机（41），所述变速电机（41）下端固接有电机固定板（42），所述电机固定板（42）固定于安装座（1）上，变速电机（41）的输出轴上固定连接有齿轮（43）。

5.如权利要求1所述的抱持晶圆盒的升降模组，其特征在于，所述短程气缸机构（7）包括电机安装座（71），所述电机安装座（71）上固定有感应片（74）。

6.如权利要求5所述的抱持晶圆盒的升降模组，其特征在于，位于所述第一滑块（821）两侧安装有第一限位柱组（822）与第二限位柱组（823），所述第一限位柱组（822）与第二限位柱组（823）均固定于安装板（6）上。

7.如权利要求6所述的抱持晶圆盒的升降模组，其特征在于，所述第一托架（913）上表面上至少开设有第一安装槽（9131）与第二固定槽（9132）。