[发明专利]一种计量晶圆片数的短行程升降装置

说明书

本发明公开了一种可计量晶圆片数的短行程升降装置，包括：支撑结构，计数机构，所述计数机构放置于支撑架的腔室内，所述计数机构包括固定板，所述固定板上固定有至少两个对称设置的U型固定夹板，所述U型固定夹板上固定有计数传感器盒，所述计数传感器盒内固定有计数传感器组；升降机构，所述升降机构的一端固定于支撑结构腔室内，另一端固定于计数机构上，以使所述计数机构在支撑结构腔室内进行上下运动。根据本发明，而且通过设置升降的晶圆计数器进行随时对批量式的晶圆计数，计数的结果更准确，而且该装置可固定在水平移动机构或者垂直运动上来实现多方位的运动，可以和晶圆片与托篮装载、卸载更紧密的配合。

技术领域

本发明涉及对升降装置技术领域，特别涉及一种可计量晶圆片数的短行程升降装置。

背景技术

在半导体工艺设备中常需要在设备中安装一晶圆载体传递的机构，用以将晶圆传送到指定的工艺工位，而在晶圆载体装载晶圆后进入工艺设备的装载区后，需要对晶圆的片数进行计数的动作。通常使用晶圆计数传感器对晶圆片数计数，而传感器使用的种类有多种类使用类型，很多传感器是直接固定设备上然后进行计数，这种固定式原地进行对晶圆片数计数，当晶圆的数量较大时，这样安装的传感器在统计数量的时候容易造成误差，而现在没有晶圆载体的传递装置能够对批量式晶圆片随时进行计数的联动配置。

有鉴于此，实有必要开发一种可计量晶圆片数的短行程升降装置，用以解决上述问题。

发明内容

针对现有技术中存在的不足之处，本发明的目的是提供一种可计量晶圆片数的短行程升降装置，而且通过设置升降的晶圆计数器进行随时对批量式的晶圆计数，计数的结果更准确，而且该装置可固定在水平移动机构或者垂直运动上来实现多方位的运动，可以和晶圆片与托篮装载、卸载更紧密的配合。为了实现根据本发明的上述目的和其他优点，提供了一种可计量晶圆片数的短行程升降装置，包括：

支撑结构，所述支撑结构为框架式且内部为用以收纳的腔室；

计数机构，所述计数机构放置于支撑架的腔室内，所述计数机构包括固定板，所述固定板上固定有至少两个对称设置的U型固定夹板，所述U型固定夹板上固定有计数传感器盒，所述计数传感器盒内固定有计数传感器组；以及

升降机构，所述升降机构的一端固定于支撑结构腔室内，另一端固定于计数机构上，以使所述计数机构在支撑结构腔室内进行上下运动。

优选的，所述支撑结构包括连接板，所述连接板上固定有底板，所述底板上表面上固定有第一支撑组件及与所述第一支撑组件结构相同且对称设置在底板上的第二支撑组件。

优选的，所述第二支撑组件包括外支撑板，所述外支撑板上固接有横向阻挡板，所述横向阻挡板为U型结构。

优选的，横向阻挡板一侧端固接有内支撑板，所述内支撑板与外支撑板相互平行设置，以使横向阻挡板为内支撑板提供水平阻力来防止内支撑板往外侧偏转与晃动。

优选的，所述外支撑板上固接有固定块，所述固定块上固定有托篮定位块，所述托篮定位块为台阶状。

优选的，托篮定位块上架设有托篮，且托篮定位块一台阶面上设有一三角形凸起块，以使托篮与托篮定位块相配合。

优选的，所述托篮包括第一托架及与第一托架结构相同且对称设置的第二托架，所述第一托架与第二托架之间设有固定横梁及与固定横梁相对设置的固定板。

优选的，所述第二托架包括固定栅格，所述固定栅格由弧形齿条组成，每两个弧形齿条之间形成固定区域，所述固定栅格的上端固定有悬挂耳，所述固定栅格的下端一体式连接有支撑板，所述支撑板上开设有卡槽。

优选的，升降机构包括升降气缸及轴固定块，所述升降气缸设有主升降轴、第一副升降轴及第二副升降轴，且主升降轴、第一副升降轴及第二副升降轴的上端均固定于轴固定块上，所述轴固定块固定于固定板上。