[发明专利]一种计量晶圆片数的短行程升降装置

权利要求书

1.一种可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，包括：

支撑结构(3)，所述支撑结构(3)为框架式且内部为用以收纳的腔室；

计数机构(4)，所述计数机构(4)放置于支撑架(3)的腔室内，所述计数机构(4)包括固定板(414)，所述固定板(414)上固定有至少两个对称设置的U型固定夹板(413)，所述U型固定夹板(413)上固定有计数传感器盒(412)，所述计数传感器盒(412)内固定有计数传感器组(411)；以及

升降机构(5)，所述升降机构(5)的一端固定于支撑结构(3)腔室内，另一端固定于计数机构(4)上，以使所述计数机构(4)在支撑结构(3)腔室内进行上下运动。

2.如权利要求1所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述支撑结构(3)包括连接板(31)，所述连接板(31)上固定有底板(32)，所述底板(32)上表面上固定有第一支撑组件(33)及与所述第一支撑组件(33)结构相同且对称设置在底板(32)上的第二支撑组件(34)。

3.如权利要求2所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述第二支撑组件(34)包括外支撑板(345)，所述外支撑板(345)上固接有横向阻挡板(344)，所述横向阻挡板(344)为U型结构。

4.如权利要求3所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，横向阻挡板(344)一侧端固接有内支撑板(343)，所述内支撑板(343)与外支撑板(345)相互平行设置，以使横向阻挡板(344)为内支撑板(343)提供水平阻力来防止内支撑板(343)往外侧偏转与晃动。

5.如权利要求3所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述外支撑板(345)上固接有固定块(342)，所述固定块(342)上固定有托篮定位块(341)，所述托篮定位块(341)为台阶状。

6.如权利要求5所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，托篮定位块(341)上架设有托篮(2)，且托篮定位块(341)一台阶面上设有一三角形凸起块(3411)，以使托篮(2)与托篮定位块(341)相配合。

7.如权利要求6所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述托篮(2)包括第一托架(21)及与第一托架(21)结构相同且对称设置的第二托架(22)，所述第一托架(21)与第二托架(22)之间设有固定横梁(23)及与固定横梁(23)相对设置的固定板(24)。

8.如权利要求7所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，所述第二托架(22)包括固定栅格，所述固定栅格由弧形齿条(221)组成，每两个弧形齿条(221)之间形成固定区域，所述固定栅格的上端固定有悬挂耳(224)，所述固定栅格的下端一体式连接有支撑板(222)，所述支撑板(222)上开设有卡槽(223)。

9.如权利要求1所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，升降机构(5)包括升降气缸(51)及轴固定块(52)，所述升降气缸(51)设有主升降轴(55)、第一副升降轴(53)及第二副升降轴(54)，且主升降轴(55)、第一副升降轴(53)及第二副升降轴(54)的上端均固定于轴固定块(52)上，所述轴固定块(52)固定于固定板(414)上。

10.如任意权利要求1-9所述的可计量晶圆片数的短行程升降装置，其特征在于，还包括：垂直升降装置(6)，所述垂直升降装置(6)一端固定于连接板(31)上，用以带动支撑结构(3)上下运动，垂直升降装置(6)的另一端固接有水平移动装置(7)，所述水平移动装置(7)用以带动垂直升降装置(6)水平移动。