[发明专利]一种单晶制绒的提拉方法及装置

权利要求书

1.一种单晶制绒的慢提拉方法，用于硅片的预脱水中，所述硅片装在花篮的插槽中，其特征在于，包括：

在所述硅片离开水的表面之前，将盛装所述硅片的花篮倾斜第一角度；

在所述硅片离开水的表面之后，将盛装所述硅片的花篮倾斜第二角度，所述第一角度小于第二角度，当所述硅片的厚度在165-180μm时，所述第二角度为20-40°。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一角度范围在0°到10°之间。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

通过控制程序控制所述花篮倾斜的第一角度和第二角度。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述硅片离开水的表面之前，硅片在水中提拉的时间为10-60s，在所述硅片离开水的表面之后，硅片的提拉的时间为10-60s。

5.一种单晶制绒的慢提拉装置，其特征在于，包括：

提拉架；

花篮，所述花篮固定在所述提拉架上，所述花篮内部设有多个用于盛装硅片的插槽；

驱动装置，所述驱动装置与所述提拉架连接，用于驱动所述提拉架翻转以调节所述花篮倾斜的角度；

所述驱动装置在所述硅片离开水的表面之前，驱动盛装所述硅片的花篮倾斜第一角度，以使所述硅片向所述插槽的侧壁倾斜，并在所述硅片离开水的表面之后，驱动盛装所述硅片的花篮倾斜第二角度，以增大所述硅片向所述插槽的侧壁倾斜的角度，所述第一角度小于第二角度，当所述硅片的厚度在165-180μm时，所述第二角度为20-40°。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括：

控制器，所述控制器与所述驱动装置连接，并控制所述驱动装置在所述硅片离开水的表面之前，驱动盛装所述硅片的花篮倾斜第一角度，并在所述硅片离开水的表面之后，驱动盛装所述硅片的花篮倾斜第二角度。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一角度范围在0°到10°之间。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，还包括：

液位传感器，所述液位传感器与所述控制器连接，所述液位传感器用于监测硅片是否离开水的表面。