[发明专利]一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法

说明书

本发明涉及高效太阳能多晶电池制造技术领域，且公开了一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，包括以下步骤：S1：多晶硅片的初抛、镀银和挖孔；S2：漂洗；S3：脱银；S4：再次漂洗；S5：烘干；S6：扩孔；S7：水洗；S8：碱洗；S9：再次水洗；S10：酸洗；S11：再次烘干。其中S1；S2；S3；S4；S5在槽式机中完成，S6；S7；S8；S9；S10；S11在链式机中完成。该新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，可以提高硅片表面绒面结构的均匀性，可以充分利用现有的链式制绒设备，大大缩短了设备的长度。

技术领域

本发明涉及高效太阳能多晶电池制造技术领域，具体为一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法。

背景技术

众所周知，在金刚线普及之前，常规的砂浆片制绒通常都是在链式机上完成的，因此链式制绒设备在电池生产企业中非常普遍。随着金刚线硅片的推广，黑硅制绒技术凭借着效率及外观上的明显优势，逐步成为金刚线多晶硅制绒技术的主流，然而黑硅制绒需要用到槽式设备，并且设备槽体数量较多，工艺流程较长，设备体积偏大，设备成本较高等特点，制约着黑硅技术的不断推广。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，具备可以制备出绒面尺寸均匀，大小和深度可调的微纳米微观绒面结构等优点，解决了黑硅制绒需要用到槽式设备的槽体数量较多，工艺流程较长，设备体积偏大，设备成本较高的问题。

(二)技术方案

为实现上述在简化常规黑硅制绒技术的前提下，制备出绒面尺寸均匀，大小和深度可调的微纳米微观绒面结构的目的，本发明提供如下技术方案：一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，包括以下步骤：

S1：多晶硅片的初抛、镀银和挖孔：将金刚线多晶硅片放置于抛镀挖一体的功能槽中，功能槽中有促进硅片反应的刻蚀液，待硅片充分反应；

S2：漂洗：将S1步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗；

S3：脱银：将S2步骤中处理后的硅片，放入脱银槽中去除硅片中残留的银离子，脱银槽中有辅助液；

S4：漂洗：将S3步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗；

S5：烘干：将S4步骤中处理后的硅片，放入烘干槽中烘干；

S6：扩孔：将烘干完的硅片，放入链式机中进行扩孔处理，链式机的扩孔槽内有辅助液；

S7：漂洗：将S6步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗；

S8：碱洗：将S7步骤中处理后的硅片，放入去碱洗槽中漂洗去除S6步骤中残留的酸液。碱洗槽中的辅助液包含但不仅限于双氧水、氨水、氢氧化钠或氢氧化钾等；

S9：漂洗：将S8步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗；

S10：酸洗：将S9步骤中处理后的硅片，放入酸洗槽中漂洗。酸洗槽中的辅助液包含但不仅限于氢氟酸、盐酸和双氧水；

S11：再次烘干：将S10步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗，取出后，放入烘干槽中烘干，制备成黑硅绒面片。

优选的，在S1步骤和S3步骤中的初抛、镀银、挖孔和脱银几个主要的功能放在槽式机中完成，其中初抛、镀银、挖孔在一个功能槽中一起完成。

优选的，在S1步骤中的功能槽的工艺条件为30-82℃条件下，反应2-5min，待硅片充分反应，减重控制在0.15-0.6g，刻蚀液中包含但不仅限于碱、氟化盐、硝酸银、硝酸铜、氯化盐以及硫化盐。

优选的，在脱银后烘干的多晶硅片剩余的扩孔、漂洗、碱洗、漂洗、酸洗等工序都在链式机上完成。