[发明专利]一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法

权利要求书

1.一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：多晶硅片的初抛、镀银和挖孔：将金刚线多晶硅片放置于抛镀挖一体的功能槽中，功能槽中有促进硅片反应的刻蚀液，待硅片充分反应；

S2：漂洗：将S1步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗；

S3：脱银：将S2步骤中处理后的硅片，放入脱银槽中去除硅片中残留的银离子，脱银槽中有辅助液；

S4：漂洗：将S3步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗；

S5：烘干：将S4步骤中处理后的硅片，放入烘干槽中烘干；

S6：扩孔：将烘干完的硅片，放入链式机中进行扩孔处理，链式机的扩孔槽内有辅助液；

S7：漂洗：将S6步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗；

S8：碱洗：将S7步骤中处理后的硅片，放入去碱洗槽中漂洗去除S6步骤中残留的酸液。碱洗槽中的辅助液包含但不仅限于双氧水、氨水、氢氧化钠或氢氧化钾等；

S9：漂洗：将S8步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗；

S10：酸洗：将S9步骤中处理后的硅片，放入酸洗槽中漂洗。酸洗槽中的辅助液包含但不仅限于氢氟酸、盐酸和双氧水；

S11：再次烘干：将S10步骤中处理后的硅片，放入去离子水中漂洗，取出后，放入烘干槽中烘干，制备成黑硅绒面片。

2.根据权利要求1所述的一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，其特征在于：所述S1步骤和S3步骤中的初抛、镀银、挖孔和脱银几个主要的功能放在槽式机中完成，其中初抛、镀银、挖孔在一个功能槽中一起完成。

3.根据权利要求1所述的一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，其特征在于：所述S1步骤中的功能槽的工艺条件为30-82℃条件下，反应2-5min，待硅片充分反应，减重控制在0.15-0.6g，刻蚀液中包含但不仅限于碱、氟化盐、硝酸银、硝酸铜、氯化盐以及硫化盐。

4.根据权利要求1所述的一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，其特征在于：所述脱银后烘干的多晶硅片剩余的扩孔、漂洗、碱洗、漂洗、酸洗等工序都在链式机上完成。

5.根据权利要求1所述的一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，其特征在于：所述S2步骤、S4步骤、S7步骤、S9步骤和S11步骤中，漂洗时间均为2-5min，温度均为20-60℃。

6.根据权利要求1所述的一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，其特征在于：所述S3步骤中脱银槽内的辅助液包含但不仅限于双氧水和氨水。其中氨水的浓度为1-5％，双氧水浓度为2-8％,时间为1-5min。

7.根据权利要求1所述的一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，其特征在于：所述S5步骤和S11步骤中的烘干时间均为2-5min，温度均为45-80℃。

8.根据权利要求1所述的一种新型的槽链式相结合的黑硅绒面制备方法，其特征在于：所述S6步骤中扩孔槽的辅助液包含但不仅限于硝酸和氢氟酸，其中硝酸的浓度为15-50％，氢氟酸的浓度为5-10％。