[发明专利]通过维氏硬度计结合透射电镜实现原位压缩观察的方法

权利要求书

1.一种通过维氏硬度计结合透射电镜实现原位压缩观察的方法，其特征在于：通过维氏硬度计对透射样品进行原位压缩，然后通过透射电镜观察压缩前后样品薄区的表面形貌变化，进而实现原位的透射压缩观察。

2.按照权利要求1所述通过维氏硬度计结合透射电镜实现原位压缩观察的方法，其特征在于：先制备透射样品，通过透射电镜观察记录样品薄区的原始形貌；把透射样品放在平台的圆形凹槽上，并用一定载荷的维氏硬度压头在透射样品孔周围进行压缩，记录压痕的对角线大小以及硬度值；最后在透射电镜下观察压缩部分的薄区组织形貌变化，对比压缩前的组织形貌，进而实现原位的透射压缩观察。

3.按照权利要求2所述通过维氏硬度计结合透射电镜实现原位压缩观察的方法，其特征在于：托放透射样品的平台上带有一个直径大于3mm的圆形凹槽，所述凹槽底部粗糙度小于0.5，平行度小于0.1。

4.按照权利要求2所述通过维氏硬度计结合透射电镜实现原位压缩观察的方法，其特征在于：维氏硬度计的砝码可以自由加卸载，通过施加不同载荷力，实现原位压缩观察过程中力对组织、孪晶以及位错形成的影响，所述砝码规格为10-1000g。

5.按照权利要求2所述通过维氏硬度计结合透射电镜实现原位压缩观察的方法，其特征在于，所述透射样品的制备方法为：

方法一：双喷电解法

(1)、把样品用线切割机切成1mm厚的10*10mm小薄片；

(2)、先后用150#、800#以及2000#的砂纸对样品进行减薄，减薄至90μm厚，然后用冲孔器把样品冲成直径为3mm的圆片，再在2000#的砂纸上，把圆片减薄至50μm；

(3)、在双喷仪器上，加入配好的双喷液，调节电解参数，进行双喷电解，最终获得带有薄区的小孔圆片；

方法二：离子减薄法

先后用150#、800#以及2000#的砂纸对样品进行减薄，减薄至90μm厚，然后用冲孔器把样品冲成直径为3mm的圆片，再在2000#的砂纸上，把圆片减薄至50μm；在离子刻蚀仪上调节参数并对样品进行离子减薄，最终获得带有薄区的小孔圆片。