[发明专利]测试光掩模的设备和方法

权利要求书

1.一种用于测试光掩模的设备，所述设备包括：

装载块，所述装载块被配置为容纳光掩模盒，在所述光掩模盒中容纳有所述光掩模；

驱动块，所述驱动块被布置在所述装载块下方，以提升所述装载块和使所述装载块旋转；以及

控制块，所述控制块被配置为控制所述装载块和所述驱动块的操作，

其中，所述装载块包括：

底表面，所述底表面被配置为支撑所述光掩模盒；

顶表面，所述顶表面面向所述底表面；以及

多个视觉相机，所述多个视觉相机被安装在所述顶表面处，以拍摄所述光掩模的边缘部分。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述视觉相机被布置在与所述光掩模盒中的光掩模的边缘部分相对应的位置处。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，通过至少一个视觉相机来拍摄所述光掩模的一个边缘部分。

4.根据权利要求1所述的设备，还包括照明器，所述照明器被安装在所述顶表面处，以在通过所述视觉相机进行拍摄的过程中照亮所述光掩模的边缘部分。

5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述照明器包括：

光源，所述光源被布置在面向所述底表面的所述顶表面的中央部分处；

主反射器，所述主反射器被布置在所述光源和所述顶表面之间；以及

边缘反射器，所述边缘反射器被配置为将从所述主反射器反射的光反射到所述光掩模的边缘部分。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述边缘反射器被安装在与所述光掩模的拐角相对应的位置处。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述控制块包括：

确定器，所述确定器被配置为从所述视觉相机接收所拍摄的图像并确定所述光掩模的前表面和后表面；以及

显示器，所述显示器被配置为显示所拍摄的图像和由所述确定器来确定的结果。

8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述确定器将边缘部分的参考图像储存在所述光掩模的前表面上，并且所述确定器将所拍摄的图像与所述参考图像进行比较，以确定所述光掩模的前表面和后表面。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述装载块还包括打开构件，所述打开构件被配置为打开所述光掩模盒的盖，以暴露所述光掩模的上表面。

10.一种测试光掩模的方法，该方法包括：

装载其中容纳有所述光掩模的光掩模盒；

打开所述光掩模盒的盖；

使用多个视觉相机来拍摄通过所述盖而暴露的所述光掩模的边缘部分；

当在所述光掩模的边缘部分处存在倒角时，停止后续过程；以及

当在所述光掩模的边缘部分处不存在所述倒角时，进行所述后续过程。

11.根据权利要求10所述的方法，还包括：在停止所述后续过程之后，将所述光掩模翻转以使所述光掩模的前表面朝向向上方向来取向。