[发明专利]低磁导率微电子产品用无磁不锈钢棒材及其生产工艺

权利要求书

1.低磁导率微电子产品用无磁不锈钢棒材，其特征在于，由如下质量百分比的化学成分组成：C：0.017％，Cr：17.52％，Mn：1.32％，Mo：2.52％，Ni：13.06％，P：0.034％，S：0.001％，Si：0.44％，N：0.022％。

2.生产如权利要求1所述低磁导率微电子产品用无磁不锈钢棒材的工艺，其特征在于，包括如下工艺步骤：依次经过四次拉丝后高温去磁；其中，后两道拉丝采用聚晶模具，高温去磁工序中温度为炉温按1200±50℃。

3.如权利要求2所述低磁导率微电子产品用无磁不锈钢棒材的生产工艺，其特征在于，高温去磁工序中采用的加热炉的炉管材质为314不锈钢；拉丝第一道采用6％～9％的断面率、第二道采用6％～8％的断面率、第三道采用5％～9％的断面率、第四道采用6％～8％的断面率。

4.如权利要求3所述低磁导率微电子产品用无磁不锈钢棒材的生产工艺，其特征在于，拉丝第一道采用8.82％的断面率、第二道采用7.74％的断面率、第三道采用6.99％的断面率、第四道采用6.02％的断面率；不锈钢棒材原始直径为17mm，四次拉丝时采用的是JZQ-500-1000型卧式拉丝机；每次拉丝工序后用金属清洗剂清洗或酸洗不锈钢棒材，然后水洗吹干后连续光亮热处理。

5.如权利要求4所述低磁导率微电子产品用无磁不锈钢棒材的生产工艺，其特征在于，在相邻拉丝工序之间还设有对不锈钢棒材振动去磁的工序。

6.如权利要求1或4所述低磁导率微电子产品用无磁不锈钢棒材的生产工艺，其特征在于，在高温去磁的同时还对不锈钢棒材振动去磁。

7.如权利要求6所述低磁导率微电子产品用无磁不锈钢棒材的生产工艺，其特征在于，高温去磁工序后还对不锈钢棒材进行时效处理，经800±10℃、8～12小时的初次时效后空冷，然后再经300±10℃、3～5小时的二次时效后空冷；时效处理工序采用RJX-3-9型箱式电炉进行时效处理。