[发明专利]一种无损伤可控制备金刚石中氮空位中心的方法有效

专利信息
申请号: 201911105677.0 申请日: 2019-11-13
公开(公告)号: CN110975760B 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 刘晓兵;陈欣;宋京岩;李凤娇 申请(专利权)人: 曲阜师范大学
主分类号: B01J3/06 分类号: B01J3/06
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 孔娟
地址: 273165 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 损伤 可控 制备 金刚石 空位 中心 方法
【权利要求书】:

1.一种无损伤可控制备金刚石中氮空位中心的方法,其特征在于,采用以下步骤:S1:制备含不同含量氮空穴中心的金刚石单晶

(1)金刚石合成:改善铁镍触媒体系,利用石墨作为碳源在5.0-6.5GPa,1350-1850℃下保温10-60小时,合成金刚石单晶;改善铁镍触媒体系采用磷或钙;合成的金刚石单晶尺寸在3-5mm;

(2)调控金刚石内部氮含量:通过调节金刚石内部氮含量得到含0-3000ppm氮杂质的金刚石单晶;

(3)可控氮空穴类型:分别选取{100}或{111}晶种,控制生长温度区间,合成含不同氮空穴类型的金刚石单晶;所述的通过控制选取晶种取向和控制生长温度控制金刚石按照{100}与{111}生长;所述控制 {100}晶体的生长温度区间为1400-1450℃;{111}晶体的生长温度区间为1500-1550℃;

S2:调节金刚石内部氮空穴中心的类型及所带电荷种类

(4)调节缺陷类型与电荷转移:通过在高压腔体内部添加微量元素,调节步骤(3)制备的金刚石单晶内部氮空穴所带电荷数目;所述的微量元素为B、O或H;

(5)退火处理:将步骤(4)合成的金刚石单晶在5.0-6.0GPa,1600-2000℃下退火处理,获取含目标氮空穴缺陷金刚石单晶。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)中所述调节金刚石内部氮含量所用的氮源为P3N5或C3N3(NH2)3,浓度为0.1-1wt.%;所述调节金刚石内部氮含量所用的除氮剂为铝箔或钛片,浓度为0.1-1wt.%。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(5)所述利用高温高压退火实验调节缺陷类型与电荷转移。

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