[发明专利]一种高精度电路板及其制造方法在审
| 申请号: | 201911096406.3 | 申请日: | 2019-11-11 |
| 公开(公告)号: | CN110972391A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
| 发明(设计)人: | 沈奕;吕岳敏;彭嘉鑫;欧建平;郑清交;杨秋强;陈远明;蔡泽锋 | 申请(专利权)人: | 汕头超声显示器技术有限公司;汕头超声显示器(二厂)有限公司 |
| 主分类号: | H05K1/03 | 分类号: | H05K1/03;H05K3/02 |
| 代理公司: | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人: | 卢梓雄;丁德轩 |
| 地址: | 515000 广东省汕头市龙湖区龙江*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高精度 电路板 及其 制造 方法 | ||
一种高精度电路板及其制造方法,包括支撑底板和设置在支撑底板上的导电线路,支撑底板为在平坦玻璃母板上形成的聚酰亚胺膜,导电线路为金属层,金属层具有导电线路相应的图形,金属层的形成条件包括支撑底板处于平坦玻璃母板上、磁控溅射方式在支撑底板上沉积金属层、金属层通过光刻工艺形成导电线路相应的图形。在平坦玻璃母板上形成聚酰亚胺膜作为支撑底板,更加平坦、更加光滑,进一步在支撑底板处于平坦玻璃母板上时,采用磁控溅射方式在支撑底板上镀制出均匀度非常高的金属层,并通过光刻工艺图形化,线路精度可达到10μm以上的级别,其线路密度也可显著地提高。
技术领域
本发明涉及印制电路板领域,尤其涉及一种高精度电路板及其制造方法。
背景技术
印制电路板一般包括支撑底板体及设置在其上的图形化导电线路。近年来,随着手机等电子设备的集成度越来越高,对印制电路板的线路密度要求也越来越大,因而印制电路板的图形精度要求也越来越高。
在现有技术中,印制电路板一般采用环氧板作为支撑底板,再在其上粘附上铜导电层,然后利用蚀刻方式在铜导电层上蚀刻出线路的图案。在这种方法中,由于环氧板的平坦度不足,而铜导电层的厚度又偏厚,而蚀刻时的蚀刻保护层多采用印刷方式进行设置,因而其很难达到较高的图形精度(>50μm),其严重限制了印刷电路板的线路密度。
基于以上原因,有必要开发一种高精度的电路板及其制造工艺,以满足电子设备所要求的越来越高的线路密度和图形精度。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种高精度电路板,这种高精度电路板具有更高的图形精度和线路密度。采用的技术方案如下:
一种高精度电路板,包括支撑底板和设置在支撑底板上的导电线路,其特征是:所述支撑底板为在平坦玻璃母板上形成的聚酰亚胺膜,所述导电线路为金属层,金属层具有导电线路相应的图形,金属层的形成条件包括支撑底板处于平坦玻璃母板上、磁控溅射方式在支撑底板上沉积金属层、金属层通过光刻工艺形成导电线路相应的图形。
这种高精度电路板突破传统环氧板的常规做法,首先在平坦玻璃母板上形成聚酰亚胺膜作为支撑底板,使得支撑底板远比现有技术的环氧板更加平坦、更加光滑,进一步在支撑底板处于平坦玻璃母板上时,采用磁控溅射方式在支撑底板上镀制出均匀度非常高的金属层(如“钼铌-铝铌-钼铌”三层合金),并通过光刻工艺将金属层图形化为高精度的导电线路相应图形,最后才将完成的线路板从平坦玻璃母板上剥离下来,而平坦玻璃母板可重复利用。由此,使得这种高精度电路板的线路精度可达到10μm以上的级别,远高于一般印制电路板的图形精度,因此其线路密度也可显著地提高。这种高精度电路板可直接作为柔性电路板使用,也可以进一步粘贴在硬质板上以形成硬质电路板,甚至可以将多个上述电路板叠加,形成多层电路板。
优选地,所述电路板的外侧面还可设有保护层(如用于覆盖所述线路的绝缘油墨)、标识层(如油墨的文字、图形标识)、加强板(如通过胶层粘附的聚酰亚胺加强板、金属加强板、纤维加强板)。进一步优选上述保护层、标识层或加强板为所述支撑底板处于玻璃母板上时进行设置,由此可保证其具有良好的对位。
作为本发明的优选方案,所述导电线路至少包括第一导线层和第二导线层,所述第一导线层和第二导线层之间设有绝缘的隔离层,隔离层为图形化的光敏树脂涂层。
作为本发明进一步的优选方案,所述隔离层设有通孔,所述第一导线层、第二导线层通过通孔相互连接。通过在隔离层设置通孔,由此可实现第一导线层与第二导线层之间的跳线等连接。
在一种具体实施方案中,导电线路还覆盖有氧化物导电层,其用于避免金属层被氧化。氧化物导电层为氧化铟锡、氧化锌铝等导电膜层,其可通过磁控溅射形成在金属层上,可与金属层同时图形化以形成一致的叠加图形,也可以与金属层分别图形化以形成与金属层不一致的图形(可单独形成线路)。氧化物导电层覆盖在金属层上可避免金属层被氧化,提高电路板的环境可靠性。
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