[发明专利]一种盘面角度可自适应匹配的真空吸附装置

权利要求书

1.一种盘面角度可自适应匹配的真空吸附装置，其特征在于，包括定位座，活动安装在所述定位座上的吸盘，以及调节所述吸盘方向的方向调整单元；

所述方向调整单元包括：

内部中空的吸盘底座，上部安装有所述的吸盘，底部为一曲面；

衬板，上表面与所述曲面活动贴合，下表面活动贴合在所述定位座上；

中心杆，一端连接在所述吸盘的背面，另一端依次穿过所述吸盘底座、衬板和定位座；所述中心杆上设有整体式的上轴套和分片式的下轴套，所述吸盘的中心设有与所述上轴套气密配合的第一中心孔，所述定位座设有与所述下轴套气密配合的第二中心孔；

所述吸盘上设有通气孔，吸盘与定位座间设有与所述通气孔连通的真空气流通道；所述吸盘与所述吸盘底座之间通过螺栓固连，所述吸盘与所述吸盘底座之间设有密封垫圈；所述吸盘的底部设有内凸台，所述吸盘底座的顶部设有外凸台，所述密封垫圈为阶梯型结构，上下分别与所述内凸台和所述外凸台过盈配合。

2.根据权利要求1所述的盘面角度可自适应匹配的真空吸附装置，其特征在于，所述的吸盘底座的曲面为球面，所述衬板的上表面和下表面均为球面，所述的定位座上具有贴合所述衬板球面的球形凹腔。

3.根据权利要求1所述的盘面角度可自适应匹配的真空吸附装置，其特征在于，所述的中心杆上设有用于固定所述上轴套的第一限位阶梯以及用于固定所述下轴套的第二限位阶梯。

4.根据权利要求1所述的盘面角度可自适应匹配的真空吸附装置，其特征在于，所述的吸盘底座的顶部设有通气孔，所述吸盘底座的底部设有与所述中心杆间隙配合的第三中心孔，所述的分片式的下轴套具有通气间隙，所述通气间隙、所述第三中心孔与所述中心杆之间的间隙、以及所述吸盘底座顶部的通气孔共同构成所述的真空气流通道。

5.根据权利要求1所述的盘面角度可自适应匹配的真空吸附装置，其特征在于，所述的定位座上设有用于固定的切口以及垂直穿过所述切口的通孔。

6.根据权利要求1所述的盘面角度可自适应匹配的真空吸附装置，其特征在于，所述的吸盘底座的外表面、所述的衬板的内外表面以及所述的定位座贴合所述衬板的上表面均喷涂有气密涂层。

7.根据权利要求1所述的盘面角度可自适应匹配的真空吸附装置，其特征在于，所述的中心杆由柔性材料橡胶制成。