[发明专利]一种基于单刀双掷开关级联的电子校准件

说明书

本发明属于电子校准件技术领域，具体涉及一种基于单刀双掷开关级联的电子校准件，包括衬底，所述衬底表面上设置有微波传输组件，所述衬底表面上设置有50Ω/75Ω负载，所述微波传输组件与50Ω/75Ω负载连接；所述微波传输组件包括对称设置的信号线单元、设置在信号线单元周侧的地线单元、设置在信号线单元所连接开关结构下方的驱动电极。本发明具有结构简单，体积小，直通插入损耗小，各个校准状态性能优越等特点。从微波传输角度来讲，射频MEMS单刀双掷开关网络更为高效，改善了单个支路的信号干扰，提高了开关各支路之间的传输性能。本发明用于矢量网络分析仪的精准校准。

技术领域

本发明属于电子校准件技术领域，具体涉及一种基于单刀双掷开关级联的电子校准件。

背景技术

电子校准件作为矢量网络分析仪校准的重要器件，它的性能影响着微波电路的测试的性能。与传统校准件相比，具有频率高、损耗低、体积小、寿命高、易于集成等卓越的优点。对高速率无线通信系统有着重要意义。

校准件按其校准方法可分为机械校准件和电子校准件。机械校准件通过依次连接矢量网络分析仪进行手动校准，在校准过程中对操作人员的技术要求高且容易引入了重复性误差。电子校准件采用自动化，操作速度快，受操作者影响小，因此电子校准件的应用越来越广泛。目前，对电子校准件开展研究的机构主要为国外安捷伦公司和国内中电科仪器仪表有限公司。例如中电科仪器仪表有限公司公开了一种基于多阻抗状态的矢量网络分析仪电子校准件（CN 109239636 A），采用MMIC（单片集成电路）技术将GaAs FET（场效应管）开关与电子标准状态芯片集成，提供开关的通断来实现不同标准状态的校准。但GaAs FET开关存在功耗大、体积大、线性度差等问题。

发明内容

针对上述技术问题，本发明提供了一种切换快速、校准精确、实用性强的基于单刀双掷开关级联的电子校准件。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种基于单刀双掷开关级联的电子校准件，包括衬底，所述衬底表面上设置有微波传输组件，所述衬底表面上设置有50Ω/75Ω负载，所述微波传输组件与50Ω/75Ω负载连接；

所述微波传输组件包括对称设置的信号线单元、设置在信号线单元周侧的地线单元、设置在信号线单元所连接开关结构下方的驱动电极。

所述信号线单元采用T型信号线，所述T型信号线的外周侧延伸出三个条形端口，所述端口分别为输入端口、第一输出端口和第二输出端口；

所述T型信号线包括第一T型信号线、第二T型信号线、第三T型信号线、第四T型信号线、第五T型信号线，所述第一T型信号线的输入端口通过开关结构连接有第二T型信号线的第一输出端口，所述第二T型信号线的输入端口通过开关结构连接有第三T型信号线的第一输出端口，所述第三T型信号线的第二输出端口通过开关结构连接有第四T型信号线的输入端口，所述第四T型信号线的第二输出端口通过开关结构连接有第五T型信号线的输入端口。

所述地线单元包括第一地线和第二地线，所述第一地线分别设置在所述50Ω/75Ω负载端口的两侧，所述第二地线分别设置在输入端口和输出端口的夹角处。

所述第一T型信号线、第二T型信号线的第二输出端口与第四T型信号线、第五T型信号线的第一输出端口均通过开关结构连接在第二地线上，所述第五T型信号线的第二输出端口与第一T型信号线的第一输出端口分别通过开关结构连接有第一校准件端口和第二校准件端口。

所述开关结构包括悬臂梁、锚点和触点，所述锚点固定在第一输出端口和第二输出端口上，所述悬臂梁的一端固定在锚点上，所述信号线的输入端口、第二地线和校准件端口上均固定有触点，所述悬臂梁的另一端设置在触点的正上方，所述悬臂梁上设置有释放孔阵列。

所述释放孔阵列为3-5排、6-10列，所述释放孔直径大小为8-10μm，两个相近释放孔之间距离为15-25μm。