[发明专利]头芯片及其制造方法、液体喷射头、及液体喷射记录装置

说明书

本发明提供能够抑制杂散电容，提高画质的头芯片及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射记录装置。本公开的一种实施方式所涉及的头芯片是具备对液体施加压力的促动器板、并喷射前述液体的头芯片。前述促动器板包括：表面以及背面；通道，其沿既定方向延伸，并且具有设于前述表面的第一开口、以及设于前述背面、并且前述既定方向的长度比前述第一开口短的第二开口；以及电极，其具有在前述第一开口侧的前述通道的侧壁设置的表面侧部分、以及在与前述表面侧部分相比前述第二开口侧的前述侧壁设置、并且前述既定方向的大小与前述表面侧部分相同或比前述表面侧部分大的背面侧部分。

技术领域

本公开涉及头芯片及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射记录装置。

背景技术

作为液体喷射记录装置的一种，提供有将油墨（液体）吐出（喷射）到记录纸等被记录介质来进行图像、字符等的记录的喷墨方式的记录装置（例如，参照专利文献1）。在该方式的液体喷射记录装置中，通过从油墨储罐向喷墨头（液体喷射头）供给油墨，并从该喷墨头的喷嘴孔对被记录介质吐出油墨，从而进行图像、字符等的记录。另外，在这样的喷墨头中，设有吐出油墨的头芯片。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第8091987号说明书。

发明内容

发明要解决的问题

在此种头芯片等中，例如，存在因杂散容量导致吐出速度偏差，画质降低的风险。因而，希望提供能够抑制杂散电容，提高画质的头芯片及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射记录装置。

用于解决问题的方案

本公开的一种实施方式所涉及的头芯片是具备对液体施加压力的促动器板、并喷射液体的头芯片，促动器板包括：表面以及背面；通道，其沿既定方向延伸，并且具有设于表面的第一开口、以及设于背面、并且既定方向的长度比第一开口短的第二开口；以及电极，其具有在第一开口侧的通道的侧壁设置的表面侧部分、以及在与表面侧部分相比第二开口侧的侧壁设置、并且既定方向的大小与表面侧部分相同或比表面侧部分大的背面侧部分。

本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头具备上述本公开的一种实施方式所涉及的头芯片、以及对头芯片供给液体的供给机构。

本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置具备上述本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头、以及容纳液体的容纳部。

本公开的一种实施方式所涉及的头芯片的制造方法是具备对液体施加压力的促动器板、并喷射液体的头芯片的制造方法，形成促动器板的工序包含：在具有表面以及背面的压电基板，形成沿既定方向延伸且在表面具有第一开口的通道的工序；用掩膜覆盖第一开口的既定方向的两端部的工序；从设有掩膜的第一开口对通道的侧壁蒸镀导电材料以形成第一蒸镀部的工序；通过以达到通道的方式磨削压电基板的背面，在压电基板的背面侧形成既定方向的长度比第一开口短的第二开口的工序；以及从第二开口对通道的侧壁蒸镀导电材料以形成第二蒸镀部，从而形成包含第一蒸镀部以及第二蒸镀部的电极的工序。

发明效果

根据本公开的一种实施方式所涉及的头芯片及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射记录装置，能够抑制杂散电容，提高画质。

附图说明

图1是表示本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置的概要结构例的示意立体图；

图2是表示图1中所示的循环机构等的详细结构例的示意图；

图3是表示图2中所示的液体喷射头的详细结构例的分解立体图；

图4是表示图3中所示的促动器板的背面的结构例的立体图；

图5是表示沿着图3中所示的A-A线的截面的结构例的示意图；