[发明专利]提高OPC修正精度的方法

权利要求书

1.一种提高OPC修正精度的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(a)提供版图图形；

(b)在所述版图图形外围或者内部添加亚分辨率辅助图形；

(c)利用OPC修正模型对所述版图图形进行修正，得到修正图形；

(d)获得所述版图图形与所述修正图形的边缘定位误差；

(e)将所述边缘定位误差的绝对值与一预设值进行比较，当所述边缘定位误差的绝对值大于或等于所述预设值时，若所述边缘定位误差为负值，则将该边缘定位误差对应区域的版图图形外围的亚分辨率辅助图形移除，或者在该边缘定位误差对应区域的版图图形内部添加亚分辨率辅助图形，并执行步骤(f)；若所述边缘定位误差为正值，则在该边缘定位误差对应区域的版图图形外围添加亚分辨率辅助图形，或者将该边缘定位误差对应区域的版图图形内部的亚分辨率辅助图形移除，并执行步骤(f)；当所述边缘定位误差的绝对值小于所述预设值时，结束OPC修正；

(f)利用OPC修正模型对所述修正图形进行修正，得到新的修正图形，并执行步骤(d)。

2.根据权利要求1所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，所述边缘定位误差为所述版图图形的边缘与所述修正图形的边缘之差。

3.根据权利要求1所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，所述预设值为所述版图图形尺寸的X％，所述X的范围为5～10。

4.根据权利要求1所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，所述步骤(c)与步骤(f)中的OPC修正模型为同一模型。

5.根据权利要求1所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，在步骤(d)之前还包括如下步骤：(c1)在所述版图图形上排布多个间隔的标记线，在步骤(d)中，以所述标记线与所述版图图形及所述修正图形的交点作为所述边缘定位误差的采样点。

6.根据权利要求5所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，在同一方向上，所述标记线的间距为1nm～10nm。

7.根据权利要求6所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，所示标记线等间距设置。

8.根据权利要求5所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，多个所述标记线形成网格状。

9.根据权利要求5所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，所述标记线与该区域的亚分辨率辅助图形垂直。

10.根据权利要求1所述的提高OPC修正精度的方法，其特征在于，在步骤(e)中，添加亚分辨率辅助图形包括：将位于该区域两侧的亚分辨率辅助图形连接。