[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

上游处理部，对多片基板逐片依次进行处理；

下游处理部，能够对通过所述上游处理部进行了处理的两片基板同时进行处理；

第一待机部，使作为被所述上游处理部处理过的基板的第一基板待机；

第二待机部，使作为被所述上游处理部处理过的基板的、且为所述第一基板的下一基板的第二基板待机；以及

搬送机器人，能够取出在所述第一待机部待机的所述第一基板与在所述第二待机部待机的所述第二基板两者、在所述第一待机部待机的仅所述第一基板、和在所述第二待机部待机的仅所述第二基板的任一种作为搬送对象，且能够将所述搬送对象搬送至所述下游处理部，

所述第一待机部具有使所述第一基板上升的第一上升机构，

所述第二待机部具有使所述第二基板上升的第二上升机构，

所述第一上升机构和所述第二上升机构相互独立地受到驱动，

所述下游处理部具有进行干燥处理的多个干燥部，

当所述第一基板和所述第二基板各自的干燥所需要的必要干燥时间为第一时间时，所述搬送机器人将所述第一基板搬送至所述多个干燥部中的一个干燥部，将所述第二基板搬送至所述多个干燥部中的另一个干燥部，

当所述必要干燥时间为比所述第一时间长的第二时间时，所述搬送机器人接收所述第一基板和所述第二基板两者并整批搬送至所述多个干燥部中的一个干燥部。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中

所述上游处理部具有沿着搬送方向逐片依次搬送所述多片基板的搬送部，

所述第一待机部在所述搬送方向上位于所述搬送部的下游侧，

所述第二待机部在所述搬送方向上位于所述搬送部与所述第一待机部之间，也具有将来自所述搬送部的所述第一基板搬送至所述第一待机部的功能，

当所述第一基板自所述第二待机部被搬送至所述第一待机部时，所述第一上升机构使所述第一基板上升，

在所述第一上升机构使所述第一基板上升的状态下，所述第二基板自所述搬送部被搬送至所述第二待机部。

3.一种基板处理装置，包括：

上游处理部，对多片基板逐片依次进行处理；

下游处理部，能够对通过所述上游处理部进行了处理的两片基板同时进行处理；

第一待机部，使作为被所述上游处理部处理过的基板的第一基板待机；

第二待机部，使作为被所述上游处理部处理过的基板的、且为所述第一基板的下一基板的第二基板待机；以及

搬送机器人，能够取出在所述第一待机部待机的所述第一基板与在所述第二待机部待机的所述第二基板两者、在所述第一待机部待机的仅所述第一基板、和在所述第二待机部待机的仅所述第二基板的任一种作为搬送对象，且能够将所述搬送对象搬送至所述下游处理部，

所述下游处理部具有进行干燥处理的多个干燥部，

当所述第一基板和所述第二基板各自的干燥所需要的必要干燥时间为第一时间时，所述搬送机器人将所述第一基板搬送至所述多个干燥部中的一个干燥部，将所述第二基板搬送至所述多个干燥部中的另一个干燥部，

当所述必要干燥时间为比所述第一时间长的第二时间时，所述搬送机器人接收所述第一基板和所述第二基板两者并整批搬送至所述多个干燥部中的一个干燥部。

4.一种基板处理方法，包括：

第一工序，逐片依次处理多片基板；

第二工序，使作为在所述第一工序中进行了处理的基板的第一基板待机；

第三工序，使作为在所述第一工序中进行了处理的基板的、且为所述第一基板的下一基板的第二基板待机；

第四工序，当所述第一基板和所述第二基板各自的干燥所需要的必要干燥时间为第一时间时，搬送机器人将所述第一基板搬送至能够同时处理两片基板的下游处理部所含的多个干燥部中的一个干燥部，将所述第二基板搬送至所述多个干燥部中的另一个干燥部，所述搬送机器人能够取出所述第一基板与所述第二基板两者、仅所述第一基板、和仅所述第二基板的任一种作为搬送对象；以及

第五工序，当所述必要干燥时间为比所述第一时间长的第二时间时，所述搬送机器人接收所述第一基板和所述第二基板两者并整批搬送至所述多个干燥部中的一个干燥部。