[发明专利]一种可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统

说明书

本发明公开了一种可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，所述保偏薄膜激光分光系统包括不同分光比的分光镜和1个全反射镜，所述分光镜的个数为分光光路数减1。所述全反射镜依次包括全反射膜和透明玻璃基底。所述分光镜依次包括入射面分光薄膜、透明玻璃基底和出射面减反薄膜。本发明提供的保偏薄膜激光分光系统可根据要求设置任意分光比，且出射光光强基本相同并且保持原来的偏振特征。

技术领域

本发明属于激光技术领域，具体涉及一种可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统。

背景技术

随着激光器产品和应用技术的普及，越来越多的光学设备采用激光作为介质的透光度检测光源，为了降低成本，一台激光器发出的一束激光通常被分成多路输出，以实现多路并行检测，达到降低检测成本的目的。而传统的激光分光方式有光栅式、波导式和棱镜阵列三种，其中前两种分光方式分光比例调配成本较大且损耗较大，后者占据空间大。如申请号为CN201110295248.1的中国专利文献公开了一种偏振分光器件及其形成方法，所述偏振分光器件，包括：透明基底；位于所述透明基底上的偏振光栅，所述偏振光栅包括多条相互间隔平行排列的透光部和不透光部；位于所述偏振光栅上的透明层。本发明的偏振分光器件入射光线经偏振分光器件后的透射光和反射光的强度基本相同，都接近入射光线强度的50％，可以提高立体投影光学系统的成像效果。如公开号为CN206573742U的中国专利文献公开了一种透射型隔离分光器，包括单纤准直器、多纤准直器、隔离器和壳套，所述隔离分光器还包括波导分光芯片，所述单纤准直器、隔离器、波导分光芯片以及多纤准直器依次设置，并用所述壳套封装固定。由于波导分光芯片不仅有分光的功能，还有体积小特征，能减小分光器的体积。当单束光从单纤准直器射入，经过隔离器后，由波导分光芯片均匀分成多路光，该多路光中的任意一路光不会影响其它光路。

面对越多越多的实验和生产需求，需要更多的分光比例，减少激光的损耗，减少体积等是新型激光分光器所需要具备的功能。

发明内容

本发明的目的是提供一种可设置不同分光比的保偏薄膜分光系统，可根据要求设置任意分光比，且出射光光强基本相同并且保持原来的偏振特征。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，所述保偏薄膜激光分光系统包括不同分光比的分光镜和1个全反射镜，所述分光镜的个数为分光光路数减1。

所述全反射镜依次包括全反射膜和透明玻璃基底。

本发明提供的保偏薄膜激光分光系统，所述分光镜可根据实际需求设置任意分光比，从而更加灵活的实现不同的分光比。

所述分光镜依次包括入射面分光薄膜、透明玻璃基底和出射面减反薄膜。

优选的，所述全反射膜的材质为不同厚度的二氧化钛层和二氧化硅层组成的复合膜，所述全反射膜的反射率在99.9％以上。

在本发明中，根据分光比来设计入射面分光薄膜的膜系设计；分光镜中的出射面减反薄膜用于减少出射光的光强损失，减少鬼像的干扰，可以达到分光后各束激光的光强基本相同，并且保持激光原来的偏振特性。

优选的，所述入射面分光薄膜和出射面减反薄膜的材质为不同厚度的二氧化钛层和二氧化硅层组成的复合膜，所述出射面减反薄膜的透过率在99.5％以上。

优选的，所述出射面减反薄膜通过磁控溅射工艺、电子束蒸发或气相沉积的方式沉积在透明玻璃基底。

所述保偏薄膜激光分光系统为一分四分光系统，所述一分四分光系统包括3个分光镜和1个全反射镜，所述3个分光镜中入射面分光薄膜的透射率/反射率分别为3/1、2/1和1/1。