[发明专利]一种可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统在审
| 申请号： | 201911053635.7 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110673351A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 黄宇翔;李衎;张尚 | 申请（专利权）人： | 杭州昕磁科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28 |
| 代理公司： | 33224 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 白静兰 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 激光分光系统 分光比 分光镜 全反射镜 透明玻璃 基底 全反射膜 出射面 光薄膜 出射 路数 偏振 入射 | ||
1.一种可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，其特征在于，所述保偏薄膜激光分光系统包括不同分光比的分光镜和1个全反射镜，所述分光镜的个数为分光光路数减1。
2.根据权利要求1所述的可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，其特征在于，所述全反射镜依次包括全反射膜和透明玻璃基底。
3.根据权利要求2所述的可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，其特征在于，所述全反射膜的材质为不同厚度的二氧化钛层和二氧化硅层组成的复合膜，所述全反射膜的反射率在99.9％以上。
4.根据权利要求1所述的可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，其特征在于，所述分光镜依次包括入射面分光薄膜、透明玻璃基底和出射面减反薄膜。
5.根据权利要求4所述的可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，其特征在于，所述入射面分光薄膜和出射面减反薄膜的材质为不同厚度的二氧化钛层和二氧化硅层组成的复合膜，所述出射面减反薄膜的透过率在99.5％以上。
6.根据权利要求4所述的可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，其特征在于，所述出射面减反薄膜通过磁控溅射工艺、电子束蒸发或气相沉积的方式沉积在透明玻璃基底。
7.根据权利要求4所述的可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，其特征在于，所述保偏薄膜激光分光系统为一分四分光系统，所述一分四分光系统包括3个分光镜和1个全反射镜，所述3个分光镜中入射面分光薄膜的透射率/反射率分别为3/1、2/1和1/1。
8.根据权利要求4所述的可设置不同分光比的保偏薄膜激光分光系统，其特征在于，所述保偏薄膜分光系统为一分八分光系统，所述一分八分光系统包括一分二分光系统和两个一分四分光系统；所述一分二分光系统包括一个透射率/反射率为1:1的分光镜；所述一分四分光系统包括3个分光镜和1个全反射镜，所述3个分光镜中入射面分光薄膜的透射率/反射率分别为3/1、2/1和1/1。
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