[发明专利]一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法

权利要求书

1.一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法，其特征在于：检测缺陷的系统包括扫描系统、干涉系统和光学显微模块，所述扫描系统包括扫描支架以及与所述扫描支架连接的光源部分和摄像部分，所述光源部分的出射光用于照射所述干涉系统以产生干涉条纹，所述干涉系统包括待测玻片(4-1)以及待测玻片(4-1)底部放置的平整玻片(4-2)，所述待测玻片(4-1)和所述平整玻片(4-2)之间设置夹块(4-5)形成空气劈尖，所述扫描支架用于调节出射光并对待测玻片(4-1)进行横纵扫描，所述光学显微模块与摄像部分连接以观察并记录所述干涉条纹的变化情况；

所述扫描支架包括水平设置的滑动支杆(1-1)和竖直设置的伸缩支杆(1-2)，所述伸缩支杆(1-2)底部设有固定杆(1-3)，所述固定杆(1-3)用于安装光源部分和摄像部分，所述伸缩支杆(1-2)沿滑动支杆(1-1)水平移动以使出射光对待测玻片(4-1)进行横向扫描；

所述滑动支杆(1-1)与导轨连接，所述滑动支杆(1-1)沿导轨滑动方向垂直于所述伸缩支杆(1-2)沿滑动支杆(1-1)移动方向，以实现出射光对待测玻片(4-1)的纵向扫描；

所述光源部分通过第一连杆(2-3)与固定杆(1-3)固定连接，所述摄像部分通过第二连杆(3-6)与固定杆(1-3)固定连接；

所述滑动支杆(1-1)与所述伸缩支杆(1-2)内还设有位移传感器；

根据所述待测玻片(4-1)的长度a设置所述夹块(4-5)的高度h，h/a＝0.005～0.015；

检测缺陷包括以下步骤：

步骤一：将平整玻片(4-2)放置于测量平台上，平整玻片(4-2)与待测玻片(4-1)之间设置一定厚度的夹块(4-5)形成空气劈尖，所述平整玻片(4-2)、待测玻片(4-1)与夹块(4-5)之间组成干涉系统，所述干涉系统上设有扫描系统；

步骤二：通过调节扫描系统中的扫描支架调节光源部分和摄像部分的位置，使光源部分的出射光沿空气劈尖厚度增大的方向扫描待测玻片(4-1)并产生干涉条纹；

步骤三：扫描过程中待测玻片(4-1)的缺陷处干涉条纹异常，通过光学显微模块计算异常条纹对应缺陷处至待测玻片(4-1)边缘的横向距离x，所述光学显微模块与扫描系统中的摄像部分连接；

步骤四：将夹块(4-5)取出并放置于待测玻片(4-1)相邻侧边形成另一个空气劈尖，重复步骤二与步骤三，得到异常条纹对应缺陷处至待测玻片(4-1)边缘的纵向距离y；

计算零级条纹至异常条纹的条纹级数n和条纹宽度l₀，得到异常条纹对应缺陷至待测玻片(4-1)边缘距离为nl₀；

任选一级正常条纹定义其坐标为x_k，再数20级正常条纹定义其坐标为x_k+20，测量20级正常条纹的总宽度为|x_k-x_k+20|，计算出一级条纹宽度为l₀＝|x_k-x_k+20|/20；

利用光学显微模块中的条纹计数器测量从边缘零级条纹到缺陷处对应的畸变条纹的条纹级数n。