[发明专利]一种条纹状结构的电热式扭转驱动器

说明书

一种条纹状结构的电热式扭转驱动器1，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1的一端连接固定端2，另一端连接可动单元3，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜构成，分别为上层薄膜1‑1和下层薄膜1‑2，其中上层薄膜1‑1包含两个或两个以上的带状结构，该带状结构间隔排列在下层薄膜1‑2上，带状结构与其下部的下层薄膜1‑2组成扭转单元4，每个扭转单元4的中心线4‑1可为直线或曲线并与固定端2的端面形成倾斜角，当该条纹状结构的电热式扭转驱动器1温度变化时，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1产生扭转，从而带动可动单元3转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。

技术领域

本发明涉及的是一种条纹状结构的电热式扭转驱动器，属于MEMS应用技术领域。

背景技术

MEMS驱动方式主要分为静电、电磁、电热和压电四种方式，其中静电和电磁被常用于扭转态驱动方式中。电热通常应用于垂直位移，较难运用于扭转态驱动，即使应用于扭转态驱动，其结构也非常复杂。例如，专利文献1、一种微电机系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用（200410053563.3），公开了一种静电驱动用于扭转态的实施方案。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是如何使电热式MEMS驱动器扭转的技术问题。

本发明创造采用的技术方案：一种条纹状结构的电热式扭转驱动器1，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1的一端连接固定端2，另一端连接可动单元3，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜构成，分别为上层薄膜1-1和下层薄膜1-2，其中上层薄膜1-1包含两个或两个以上带状结构，该带状结构间隔排列在下层薄膜1-2上，带状结构与其下部的下层薄膜1-2组成扭转单元4，每个扭转单元4的中心线4-1可为直线或曲线，中心线4-1与固定端2的端面形成倾斜角，当该条纹状结构的电热式扭转驱动器1温度变化时，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1产生扭转，从而带动可动单元3转动。

所述扭转单元的中心线4-1与固定端2的倾斜角是45°。

所述下层薄膜1-2为连续膜。

所述上层薄膜1-1材质为介电质，如氧化物或聚合物，下层薄膜1-2的材质为金属。

所述上层薄膜1-1材质为金属铜，下层薄膜1-2的材质为金属钨。

所述可动单元3两侧安装该条纹状结构的电热式扭转驱动器1，分别为第一条纹状结构的电热式扭转驱动器1A和第二条纹状结构的电热式扭转驱动器1B，第一条纹状结构的电热式扭转驱动器1A和第二条纹状结构的电热式扭转驱动器1B与可动单元3之间分别使用柔性结构5连接。柔性结构5可以是弹簧。

一种条纹状结构的电热式扭转驱动器组6，该条纹状结构的电热式扭转驱动器组6由两个条纹状结构的电热式扭转驱动器1侧面反向对接组成。

所述可动单元3两侧对称安装该条纹状结构的电热式扭转驱动器组6，该条纹状结构的电热式扭转驱动器组6与可动单元3之间使用柔性结构5连接。

本发明创造的优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。

附图说明

图1是实施例1中的一种条纹状结构的电热式扭转驱动器1的示意图。

图2是实施例2中的一种条纹状结构的电热式扭转驱动器1的示意图。

图3是实施例3所述的两个该条纹状结构的电热式扭转驱动器驱动镜面的示意图。

图4是实施例3在实验室内的显微照片。

图5是实施例4中的一种条纹状结构的电热式扭转驱动器组6的示意图。