[发明专利]药液供应组件有效
| 申请号： | 201911036200.1 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN111146113B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李彦锡;李东晋;成普滥璨;李东润;金大城 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司;三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 药液 供应 组件 | ||
1.一种药液供应组件，为了向至少一个喷墨头供应药液而包括药液供应线路，其特征在于，包括：
主线路，其具有第一直径且向第一方向延伸；
分支线路，其向垂直于所述第一方向的第二方向从所述主线路分支，连接于所述至少一个喷墨头，具有比所述第一直径小的第二直径；以及
排出线路，其连接于所述主线路的一侧端部，向所述药液供应线路的外部排出在所述药液供应组件向所述至少一个喷墨头供应所述药液期间在所述药液供应线路内发生的气泡。
2.根据权利要求1所述的药液供应组件，其特征在于：
所述药液供应组件向三个喷墨头供应所述药液，所述分支线路分别连接于所述三个喷墨头。
3.根据权利要求1所述的药液供应组件，其特征在于：
所述药液供应组件向所述至少一个喷墨头供应所述药液期间所述主线路内具有缓冲空间使得所述药液不完全充满所述主线路。
4.根据权利要求1所述的药液供应组件，其特征在于，还包括：
阀，其为了打开闭合所述排出线路而设在所述排出线路内。
5.根据权利要求1所述的药液供应组件，其特征在于：
所述主线路为了向所述至少一个喷墨头供应所述药液而连接在储存所述药液的药液储存槽，所述药液供应组件还包括配置在所述主线路内且连接于所述药液储存槽，具有比所述第一直径小的第三直径的连接部件。
6.根据权利要求5所述的药液供应组件，其特征在于：
所述连接部件配置成邻接于所述主线路的另一侧端部。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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