[发明专利]形状测量装置

说明书

本发明提供一种形状测量装置。形状测量装置包括：保持单元，其保持形状被要测量的测量对象；第一测量单元，其测量所述测量对象的第一表面上的多个测量点相对于规定点的相对坐标；第二测量单元，其独立于所述第一测量单元进行操作，并且测量所述测量对象的作为所述第一表面的反面的第二表面上的多个测量点相对于所述规定点的相对坐标；以及计算单元，其基于由所述第一测量单元和所述第二测量单元所测量出的结果来计算所述测量对象的形状。

技术领域

本发明涉及用于测量测量对象的形状的形状测量装置。

背景技术

以往，已知用于测量测量对象的形状的形状测量装置。日本特开2003-22834公开了用于测量燃料电池所用的隔离体的形状的形状测量方法，并且目的在于尽可能地抑制薄的隔离体在测量时因外力而变形。

此外，日本特开2003-22834中公开的方法公开了这样的方法：两个非接触位移传感器被设置为以隔离体置于其间的方式而面向彼此，到隔离体的前表面和后表面的距离由设置在相应表面侧的传感器来测量，并且通过从传感器之间的距离减去由这两个传感器获得的距离来获得隔离体的厚度。

另外，为了测量测量对象的厚度，可以想到使用诸如卡尺或千分尺等的测量工具。

然而，在日本特开2003-22834中公开的方法的情况下，存在以下问题：当传感器没有准确地面向彼此时不能获得精确的厚度，并且需要使相对的传感器同步以测量厚度。

另外，在基于日本特开2003-22834中描述的方法使用激光进行测量的结构的情况下，存在以下问题：当测量对象包括通孔时，一个传感器接收来自与其相对的另一传感器的激光，因此无法进行测量。

此外，在使用诸如卡尺和千分尺等的测量工具的情况下，存在以下问题：尽管在测量对象的表面形状简单的情况下能够准确地进行测量，但难以对诸如隔离体等具有复杂表面形状的测量对象进行细微的测量。

发明内容

本发明的一个实施例提供能够以高精度测量具有复杂表面形状的测量对象的形状的形状测量装置。

本发明的一个实施例是形状测量装置，包括：保持单元，其保持形状要被测量的测量对象；第一测量单元，其测量所述测量对象的第一表面上的多个测量点相对于规定点的相对坐标；第二测量单元，其独立于所述第一测量单元进行操作，并且测量所述测量对象的作为所述第一表面的反面的第二表面上的多个测量点相对于所述规定点的相对坐标；以及计算单元，其基于由所述第一测量单元和所述第二测量单元所测量出的结果来计算所述测量对象的形状。

根据以下参考附图对典型实施例的描述，本发明的其它特征将变得明显。

附图说明

图1是示出根据本发明第一实施例的形状测量装置的框图。

图2是示出根据本发明第一示例的形状测量装置100的结构的示意性正面图。

图3是示出由图2所示的形状测量装置100进行的测量处理的流程图。

图4是示出用于获得隔离体105的厚度的处理示例的流程图。

图5是用于说明图4的处理的图。

图6是示出根据本发明第二示例的形状测量装置200的结构的示意性正面图。

具体实施例

在下文中，将参考附图详细描述根据本发明的形状测量装置。此外，在以下附图中，为了使各个结构容易理解，结构的形状、比例和数量等可以与实际的结构不同。

(第一实施例)

(形状测量装置1的结构)