[发明专利]形状测量装置

权利要求书

1.一种形状测量装置，包括：

保持单元，其保持形状要被测量的测量对象；

第一测量单元，其测量所述测量对象的第一表面上的多个测量点相对于规定点的相对坐标；

第二测量单元，其独立于所述第一测量单元进行操作，并且测量所述测量对象的作为所述第一表面的反面的第二表面上的多个测量点相对于所述规定点的相对坐标；以及

计算单元，其基于由所述第一测量单元和所述第二测量单元所测量出的结果来计算所述测量对象的形状。

2.根据权利要求1所述的形状测量装置，其中，所述第一测量单元和所述第二测量单元包括非接触传感器，所述非接触传感器用于在不接触所述测量对象的情况下测量所述多个测量点。

3.根据权利要求1所述的形状测量装置，其中，所述第一测量单元和所述第二测量单元具有扫描所述测量对象的表面的二维传感器。

4.根据权利要求1所述的形状测量装置，

其中，所述第一测量单元是使用面向所述测量对象的所述第一表面的第一传感器进行测量的测量单元，

所述第二测量单元是使用面向所述测量对象的所述第二表面的第二传感器进行测量的测量单元，以及

所述保持单元在测量时间段期间固定并保持所述测量对象。

5.根据权利要求1所述的形状测量装置，

其中，所述第一测量单元和所述第二测量单元是使用同一传感器进行测量的测量单元，以及

所述保持单元能够使面向所述传感器的测量对象表面在所述第一表面和所述第二表面之间切换。