[发明专利]一种邦定装置及邦定方法在审
申请号: | 201911018810.9 | 申请日: | 2019-10-24 |
公开(公告)号: | CN110648933A | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 李治蒙;吴铭;郝玉亮;万义兵;李宁;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳汉和智造有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603 |
代理公司: | 44360 深圳市道臻知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压头 固定平台 缓冲材 加热 导热性 传统加热方式 覆晶薄膜 固定产品 固定机构 固定组件 显示面板 压紧机构 激光器 热影响 透光性 散热 加工 | ||
1.一种邦定装置,其特征在于:所述邦定装置包括激光器、压头、第一缓冲材固定机构、固定平台和压紧机构,所述固定平台包括固定产品的固定组件,所述压头的材质为具有透光性和导热性的材质;其中,所述产品的引脚上均覆盖有已预压的覆晶薄膜,所述产品的引脚与覆晶薄膜之间设置有ACF;
以及,所述第一缓冲材固定机构将缓冲材夹紧至压头的压接面和覆晶薄膜之间,所述压紧机构带动产品压向压头或带动压头压向产品,所述激光器发射激光加热ACF,并通过压头的导热性实现覆晶薄膜和缓冲材的散热。
2.根据权利要求1所述的邦定装置,其特征在于:所述压头包括具有透光路径的固定座,所述压头设置在透光路径的一端并固定在固定座上;其中,所述激光器发射激光并穿过透光路径入射至压头,加热ACF,并通过压头的导热性实现覆晶薄膜和缓冲材的散热。
3.根据权利要求1或2所述的邦定装置,其特征在于:所述压头的材质为蓝宝石材质。
4.根据权利要求1所述的邦定装置,其特征在于:所述第一缓冲材固定机构包括卷料轮、导向轮和夹紧组件,所述缓冲材卷动设置在两卷料轮之间,且沿着由多个导向轮构成的导向路径移动,并穿过夹紧组件;其中,所述夹紧组件在加压过程中配合一卷料轮夹紧缓冲材。
5.根据权利要求4所述的邦定装置,其特征在于:所述第一缓冲材固定机构还包括检测转动长度的编码器,以及检测缓冲材有无跑偏的检测器。
6.根据权利要求1所述的邦定装置,其特征在于:所述固定平台还包括带动固定组件进行空间移动及旋转的移动机构;其中,所述移动机构包括X轴移动组件、Y轴移动组件、Z轴移动组件和旋转组件,所述X轴移动组件和Y轴移动组件均包括直线电机,以及光栅尺反馈模块,所述Z轴移动组件包括伺服杆驱动器,所述旋转组件包括伺服电机和精密减速器;或者,所述旋转组件包括DD马达。
7.根据权利要求1或6所述的邦定装置,其特征在于:所述固定组件包括真空吸附板。
8.根据权利要求1所述的邦定装置,其特征在于:所述压紧机构为背托机构,所述背托机构包括升降组件和可加热的背托块,所述背托块在升降组件带动下将产品压向压头。
9.根据权利要求8所述的邦定装置,其特征在于:所述背托机构还包括加热背托块的加热器和温度反馈模块。
10.根据权利要求8或9所述的邦定装置,其特征在于:所述升降组件包括升降导轨和沿着升降导轨移动的升降滑块,以及驱动升降滑块移动的升降驱动伺服电机,以及设置在升降滑块上且带动背托块升降移动的缓冲气缸。
11.根据权利要求10所述的邦定装置,其特征在于:所述缓冲气缸的升降端与背托块之间设有水平调整组件。
12.根据权利要求8所述的邦定装置,其特征在于:所述邦定装置还包括第二缓冲材固定机构,所述第二缓冲材固定机构将缓冲材夹紧至产品和背托块之间;其中,所述第二缓冲材固定机构的结构与第一缓冲材固定机构的结构相同。
13.根据权利要求1所述的邦定装置,其特征在于:所述邦定装置还包括带动激光器上下移动的精密Z轴组件以调节激光焦点,所述激光器包括扫描振镜,所述激光经过扫描振镜扫描加热ACF,并通过压头的导热性实现覆晶薄膜和缓冲材的散热。
14.根据权利要求1所述的邦定装置,其特征在于:所述产品为显示面板。
15.根据权利要求1所述的邦定装置,其特征在于:所述邦定装置还包括用于压头散热的冷却机构。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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