[发明专利]一种扩散炉结构

说明书

本发明涉及一种扩散炉结构，包括石英管、与石英管两端相连接的第一、二密封组件，第一密封组件包括第一、二、三连接件、第一、二密封圈，第一连接件套设在石英管上，第一、二连接件相连接，第二、三连接件相连接，第一密封圈位于石英管、第一、二连接件之间，第三连接件形成炉门；第二密封组件包括第四、五、六连接件、第三、四密封圈，第四连接件套设在石英管上，第四、五连接件相连接，第五、六连接件相连接，第三密封圈位于石英管、第四、五连接件之间。本发明采用了两端敞开的石英管，对石英管两端进行密封，解决石英管在高真空环境下不会损坏的进行烘烤，提高了腔体空间后还能保证真空度，节约了烘烤成本。

技术领域

本发明涉及扩散炉制造领域，特别是涉及一种扩散炉结构。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

随着扩散炉的石英管的直径增加，当石英管的直径增加达到一定值后，将不能对其抽真空，而在没有真空环境下进行烘烤将会影响扩散炉的烘烤质量。

发明内容

本发明的目的是提供一种扩散炉结构，特别是提供一种高温真空耐腐蚀的扩散炉。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种扩散炉结构，包括石英管，所述的石英管的两端敞开，所述的扩散炉结构还包括位于炉口一端与所述的石英管相连接的第一密封组件、位于炉尾一端与所述的石英管相连接的第二密封组件，其中：

所述的第一密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈，所述的第一连接件固定套设在位于炉口一端所述的石英管上，所述的第二连接件与所述的第一连接件相连接，所述的第三连接件与所述的第二连接件相连接，所述的第一密封圈同时位于所述的石英管、第一连接件以及第二连接件之间，所述的第二密封圈位于所述的第二连接件、第三连接件之间，所述的第三连接件形成炉门；

所述的第二密封组件包括第四连接件、第五连接件、第六连接件、第三密封圈以及第四密封圈，所述的第四连接件固定套设在位于炉尾一端所述的石英管上，所述的第五连接件与所述的第四连接件相连接，所述的第六连接件与所述的第五连接件相连接，所述的第三密封圈同时位于所述的石英管、第四连接件以及第五连接件之间，所述的第四密封圈位于所述的第五连接件、第六连接件之间。

优选地，所述的第二连接件、第五连接件与所述的石英管不相接触。

优选地，所述的第二密封组件还包括第七连接件、第五密封圈，所述的第七连接件与所述的第六连接件相连接，所述的第五密封圈位于所述的第六连接件、第七连接件之间，所述的第七连接件将位于炉尾一端所述的石英管封堵。

进一步优选地，所述的第一密封组件、第二密封组件中的一个上开设有气体入口、另一个上开设有气体出口，所述的气体入口、气体出口通过所述的石英管内部相连通。

进一步优选地，所述的第七连接件上开设有所述的气体入口，所述的第二连接件上开设有所述的气体出口。

进一步优选地，所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件中的至少一个上设置有具有冷却液进口、冷却液出口的冷却液通道。

进一步优选地，所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件为法兰。

进一步优选地，所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件为不锈钢材质。

进一步优选地，所述的第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈、第五密封圈为氟胶O型圈。