[发明专利]一种扩散炉结构在审
| 申请号： | 201911017939.8 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110736346A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 曹文;朱廷刚;胡小龙 | 申请（专利权）人： | 江苏能华微电子科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D99/00;H01L21/67;H01L21/22 |
| 代理公司： | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 王桦 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连接件 石英管 密封圈 密封组件 烘烤 第一连接件 高真空环境 连接件套 两端敞开 腔体空间 扩散炉 炉门 密封 节约 保证 | ||
1.一种扩散炉结构，包括石英管，其特征在于：所述的石英管的两端敞开，所述的扩散炉结构还包括位于炉口一端与所述的石英管相连接的第一密封组件、位于炉尾一端与所述的石英管相连接的第二密封组件，其中：
所述的第一密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈，所述的第一连接件固定套设在位于炉口一端所述的石英管上，所述的第二连接件与所述的第一连接件相连接，所述的第三连接件与所述的第二连接件相连接，所述的第一密封圈同时位于所述的石英管、第一连接件以及第二连接件之间，所述的第二密封圈位于所述的第二连接件、第三连接件之间，所述的第三连接件形成炉门；
所述的第二密封组件包括第四连接件、第五连接件、第六连接件、第三密封圈以及第四密封圈，所述的第四连接件固定套设在位于炉尾一端所述的石英管上，所述的第五连接件与所述的第四连接件相连接，所述的第六连接件与所述的第五连接件相连接，所述的第三密封圈同时位于所述的石英管、第四连接件以及第五连接件之间，所述的第四密封圈位于所述的第五连接件、第六连接件之间。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第二连接件、第五连接件与所述的石英管不相接触。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第二密封组件还包括第七连接件、第五密封圈，所述的第七连接件与所述的第六连接件相连接，所述的第五密封圈位于所述的第六连接件、第七连接件之间，所述的第七连接件将位于炉尾一端所述的石英管封堵。
4.根据权利要求3所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一密封组件、第二密封组件中的一个上开设有气体入口、另一个上开设有气体出口，所述的气体入口、气体出口通过所述的石英管内部相连通。
5.根据权利要求4所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第七连接件上开设有所述的气体入口，所述的第二连接件上开设有所述的气体出口。
6.根据权利要求3所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件中的至少一个上设置有具有冷却液进口、冷却液出口的冷却液通道。
7.根据权利要求3所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件、第四连接件、第五连接件、第六连接件、第七连接件为法兰。
8.根据权利要求3所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈、第五密封圈为氟胶O型圈。
9.根据权利要求1所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件上朝向所述的第二连接件一侧、所述的第四连接件上朝向所述的第五连接件一侧分别开设有槽体，所述的第二连接件上朝向所述的第一连接件一侧、所述的第五连接件上朝向所述的第四连接件一侧分别设置有凸部，所述的第一密封圈位于所述的第一连接件的槽体内，所述的第二连接件的凸部抵紧在所述的第一密封圈上；所述的第三密封圈位于所述的第四连接件的槽体内，所述的第五连接件的凸部抵紧在所述的第三密封圈上。
10.根据权利要求1所述的一种扩散炉结构，其特征在于：所述的第二连接件上朝向所述的第三连接件一侧设置有截面呈L型的连接部，所述的连接部上开设有连接孔，紧固件通过所述的连接部的连接孔将所述的第三连接件抵紧在所述的第二连接件上。
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