[发明专利]真空处理装置和维护装置

权利要求书

1.一种维护装置，其特征在于，

该维护装置具有：

壳体，其形成有与真空处理装置的第2闸门相对应的尺寸的开口部，该壳体设为所述开口部相对于所述第2闸门保持气密性、同时能够将所述开口部安装于所述第2闸门，上述真空处理装置在处理容器处设有用于基板的输入输出的第1闸门和与第1闸门不同的所述第2闸门；

维护机构，其收容于所述壳体的内部，经由所述开口部进行所述处理容器内的消耗零件的拆卸、消耗零件向所述处理容器内的安装、所述处理容器内的清扫中的至少1者，

转接器拆卸单元，其设置于所述壳体内，用于拆卸将所述真空处理装置的所述第2闸门封闭的转接器。

2.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

在所述壳体内设置有滚珠丝杠和与所述滚珠丝杠平行配置的轴。

3.根据权利要求2所述的维护装置，其特征在于，

具有在所述滚珠丝杠和所述轴安装的平移台，在所述平移台上形成有与所述滚珠丝杠对应的槽，所述平移台构成为能够通过所述滚珠丝杠的旋转而移动。

4.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述转接器拆卸单元具有进行与所述转接器的定位的定位销。

5.根据权利要求4所述的维护装置，其特征在于，

所述转接器拆卸单元具有用于拆卸所述转接器的拆卸销，在所述壳体设置有使所述拆卸销旋转的手柄。

6.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述维护机构具有进行所述处理容器内的消耗零件的拆卸的拆卸单元、进行消耗零件向所述处理容器内的安装的安装单元、进行所述处理容器内的清扫的清扫单元中的任意的至少两个单元，

在所述壳体内具有支承所述至少两个单元的支承台。

7.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述维护机构具有进行消耗零件向所述处理容器内的安装的安装单元，在所述安装单元设置有相对于设置在所述处理容器内的载置台进行定位的定位销。

8.根据权利要求7所述的维护装置，其特征在于，

所述消耗零件是聚焦环，所述安装单元具有与所述聚焦环卡合来支承所述聚焦环的卡合部件和用于释放与所述聚焦环的卡合的销。

9.根据权利要求3所述的维护装置，其特征在于，

所述转接器拆卸单元具有构成为能够相对于所述平移台拆装的连结部。

10.根据权利要求9所述的维护装置，其特征在于，

在所述壳体设置有用于使所述转接器拆卸单元相对于所述平移台拆装的手柄。

11.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述壳体内设置有用于保持拆卸下的所述转接器的转接器保持件。

12.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述维护机构具有进行所述处理容器内的消耗零件的拆卸的拆卸单元、进行消耗零件向所述处理容器内的安装的安装单元、进行所述处理容器内的清扫的清扫单元中的任意单元，

所述任意单元沿纵向收容在所述壳体内。

13.根据权利要求3所述的维护装置，其特征在于，

所述维护机构具有臂，所述臂安装于所述平移台。

14.根据权利要求13所述的维护装置，其特征在于，

所述臂包括基座部、头部和使所述头部相对于所述基座部伸缩的伸缩机构，所述伸缩机构包括：滚珠丝杠，其可旋转地支承于所述基座部；以及支承构件，其固定于所述头部，与所述滚珠丝杠相对应地形成有槽。