[发明专利]工业用机器人的手及工业用机器人

说明书

本发明提供一种工业用机器人手，是搬运搬运对象物的工业用机器人的手，可以适当地装载各种尺寸的搬运对象物。搬运搬运对象物(2)的工业用机器人的手(3)具备：多个手叉(16)，该多个手叉(16)形成为直线状且互相平行配置；支承部件(17)，该支承部件(17)配置于手叉(16)的上表面侧，支承搬运对象物(2)的下表面并且限制搬运对象物(2)在手叉(16)的长度方向上的移动；以及移动机构(19)，该移动机构(19)使支承部件(17)在手叉(16)的长度方向上移动。

技术领域

本发明涉及一种搬运搬运对象物的工业用机器人的手。另外，本发明涉及具备这种手的工业用机器人。

背景技术

目前，已知有一种工业用机器人，搬运曝光装置中使用的掩模(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备装载掩模的手、支承手的基端侧的线性驱动部以及支承线性驱动部的本体部。手具备形成为直线状的两根手叉。两根手叉互相平行配置。掩模装载于两根手叉上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－76066号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的工业用机器人被用于例如制造各种尺寸的掩模的掩模生产线的情况下，该工业用机器人需要将各种尺寸的掩模装载于手上进行搬运。

于是，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人的手，是搬运搬运对象物的工业用机器人的手，可以适当地装载各种尺寸的搬运对象物。另外，本发明的技术问题在于提供一种具备这种手的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人的手是搬运搬运对象物的工业用机器人手，其特征在于，具备：多个手叉，该多个手叉形成为直线状且互相平行配置；支承部件，该支承部件配置于手叉的上表面侧，支承搬运对象物的下表面并且限制搬运对象物在手叉的长度方向上的移动；以及移动机构，该移动机构使支承部件在手叉的长度方向上移动。

本发明的工业用机器人的手具备使支承部件在手叉的长度方向上移动的移动机构，该支承部件支承搬运对象物的下表面并且限制搬运对象物在手叉的长度方向上的移动。因此，在本发明中，能够根据搬运对象物的尺寸，使支承部件移动到能适当地支承搬运对象物的下表面的位置。因此，在本发明中，可以将各种尺寸的搬运对象物适当地装载在手上。

在本发明中，理想的是，手具备支承部件和第二支承部件，所述支承部件相对于手叉能在手叉的长度方向上移动，所述第二支承部件固定于手叉的上表面侧并支承搬运对象物的下表面，支承部件限制搬运对象物向手叉的长度方向上的一侧移动，第二支承部件限制搬运对象物向手叉的长度方向上的另一侧移动。当以这种方式构成时，与限制搬运对象物向手叉的长度方向上的另一侧移动的第二支承部件相对于手叉能在手叉的长度方向上移动的情况相比，能够简化手的结构。

在本发明中，理想的是，手具备：固定部件，所述固定部件固定支承部件；橡胶垫，所述橡胶垫为橡胶制，固定于固定部件的下表面；以及第二移动机构，所述第二移动机构使固定部件在橡胶垫以规定接触压与手叉的上表面接触的接触位置和橡胶垫从手叉的上表面分离的分离位置之间移动。当以这种方式构成时，当固定部件配置于接触位置时，可以利用橡胶垫和手叉的上表面的摩擦力使支承部件在手叉的长度方向上的规定位置停止。另外，当以这种方式构成时，通过使固定部件移动到分离位置，可以利用移动机构使支承部件在手叉的长度方向上容易地移动。

在本发明中，理想的是，第二移动机构是气缸，当固定部件配置于接触位置时，橡胶垫通过气缸与手叉的上表面接触或被按压在手叉的上表面。当以这种方式构成时，可以增大固定部件配置于接触位置时的橡胶垫和手叉的上表面之间的摩擦力，所以，可以使支承部件可靠地停止在手叉的长度方向上的规定位置。