[发明专利]一种控制曝光机曝光的方法及装置

说明书

本申请公开了一种控制曝光机曝光的方法及装置，该方法包括：接收待曝光图层的信息，所述待曝光图层包括相互间隔的显示区域和非显示区域，所述显示区域包括透光区域或发光区域中任一区域以及图形区域；确定曝光机上多个激光头的分布信息，并基于所述分布信息将所述待曝光图层划分为与所述多个激光头一一对应的多个初始曝光区域；判断任意所述相邻两个初始曝光区域之间的分界线与所述显示区域是否交叠；若交叠，则调整所述相邻两个初始曝光区域的区域分布，得到调整后的曝光区域，以使得所述调整后的曝光区域的分界线位于所述非图形区域或所述非透光区域或发光区域的至少一个区域内。解决了现有技术中存在拼接姆拉现象的技术问题。

技术领域

本申请涉及光刻技术领域，尤其涉及一种控制曝光机曝光的方法及装置。

背景技术

数字曝光机由于具有无需Mask、分辨率高以及利用人机界面和可编程控制器可以精确控制曝光时间等优点，被广泛应用于制造半导体器件、集成电路以及平面显示器件等的图层。常见的数字曝光机为直写式曝光机，其中，直写式曝光机包括多个阵列排布的激光头，每个激光头都具有一定的初始曝光区域范围，在制造过程中，将各初始曝光区域的图案进行拼接，形成所需的图案。

目前，由于直写式曝光机上多个激光头可能存在一定的差异，在曝光时相邻两激光头所形成的图案存在差异，导致相邻两激光头所形成的图案拼接到一起时，图案的交界线附近的图案存在差异，进而形成了拼接姆拉现象。

发明内容

本申请提供一种控制曝光机曝光的方法及装置，用以解决现有技术中存在拼接姆拉现象的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供一种控制曝光机曝光的方法，该方法包括：

接收待曝光图层的信息，所述待曝光图层包括相互间隔的显示区域和非显示区域，所述显示区域包括透光区域或发光区域中任一区域以及图形区域；

确定曝光机上多个激光头的分布信息，并基于所述分布信息将所述待曝光图层划分为与所述多个激光头一一对应的多个初始曝光区域；

判断任意所述相邻两个初始曝光区域之间的分界线与所述显示区域是否交叠；

若交叠，则调整所述相邻两个初始曝光区域的区域分布，得到调整后的曝光区域，以使得所述调整后的曝光区域的分界线位于所述非显示区域。

本申请实施例所提供的方案中，基于曝光机上多个激光头的分布信息将待曝光图层划分为多个初始曝光区域，然后，判断任意相邻两个初始曝光区域之间的分界线与曝光图层中的显示区域是否存在交叠，若存在交叠，则调整相邻两个初始曝光区域的区域分布，以使得调整后的曝光区域的分界线位于所述非显示区域。因此，本申请实施例通过将初始曝光区域进行调整，使得相邻两个曝光区域的分界线位于非显示区域中，避免了由于不同激光头在曝光过程中存在差异，导致拼接得到的图案存在拼接姆拉现象的问题。

可选地，基于所述分布信息将所述待曝光图层划分为与所述多个激光头一一对应的多个初始曝光区域，包括：

基于所述分布信息确定每个所述激光头对应的标定点；

确定所述每个激光头对应的标定点在所述待曝光图层上所对应的位置；

基于每个所述位置将所述待曝光图层划分为与所述多个激光头一一对应的多个初始曝光区域，其中，每个初始曝光区域包括一个所述位置。

可选地，调整所述相邻两个初始曝光区域的区域分布，包括：

判断与所述分界线交叠的区域是否为所述显示区域中的图形区域；

若是所述图形区域，则判断在与所述分界线非平行的方向上所述图形区域是否连续；

若连续，则基于所述透光区域或所述发光区域调整所述相邻两个初始曝光区域的区域分布，以使得所述调整后的曝光区域的分界线与所述透光区域或所述发光区域之间不交叠。