[发明专利]透光性器件检测系统

权利要求书

1.一种透光性器件检测系统，其特征在于，包括托盘、摄像组件和光源组件，所述托盘包括呈平面的承载面，所述承载面用于承载透光性器件，所述光源组件包括第一光源和第二光源，所述第一光源朝向所述承载面发射垂直的第一光线，所述第二光源朝向所述承载面发射倾斜的第二光线，所述第一光线和所述第二光线在所述透光性器件上反射，所述摄像组件接收所述透光性器件反射的光线而形成图像，根据所述图像检测所述透光性器件的缺陷。

2.如权利要求1所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述承载面上设有镀膜层，所述承载面为硅材质，所述镀膜层为氮化硅材质。

3.如权利要求1所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述承载面上设有多个凸起，所述透光性器件的两端分别搭载在相邻的两个所述凸起上，以使所述透光性器件与所述承载面具有第一间隔距离。

4.如权利要求3所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述凸起呈“凸”字形而形成台阶结构，所述透光性器件设置在所述台阶结构上。

5.如权利要求3所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述第一间隔距离为0.1～1mm。

6.如权利要求1所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述第一光源和所述第二光源均为环形，所述第二光源围合形成第一空间，所述第一空间用于容置所述第一光源，所述第一光源围合形成第二空间，所述摄像组件通过所述第二空间拍摄所述透光性器件的图像。

7.如权利要求6所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述第一光源包括红、绿和蓝三个发光部，所述三个发光部用于调节所述第一光源发出的光线颜色。

8.如权利要求6所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述第二光线与所述第一光线相交，所述第二光线相较所述承载面倾斜的角度为30～85°。

9.如权利要求1所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述第一光源与所述承载面的距离为第二间隔距离，所述第二间隔距离为50～150mm。

10.如权利要求1所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述摄像组件包括显微镜和摄像头，所述显微镜的光轴垂直于所述承载面，所述摄像头设置于所述显微镜的目镜。

11.如权利要求1所述的透光性器件检测系统，其特征在于，所述透光性器件检测系统还包括显示器和控制装置，所述显示器与所述摄像组件电连接，用于显示所述摄像组件拍摄的图像，所述控制装置用于控制所述光源组件和/或所述摄像组件相对所述托盘移动。