[发明专利]一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法

说明书

本发明公开了一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法，烘烤装置用于对显示面板进行烘烤，以去除显示面板中的有机溶剂，该烘烤装置包括：烤箱、管道、加热装置和排气扇，烤箱用于放置显示面板，烤箱开设有通风口，管道与通风口连通，加热装置与管道连接，加热装置用于加热管道，排气扇朝向通风口，排气扇用于将烤箱中的气体从管道中排出。本发明的烘烤装置能够减小有机溶剂在管道内壁凝结，增大设备的使用年限。

技术领域

本发明涉及光刻工艺的技术领域，特别是涉及一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法。

背景技术

光刻工艺中会用到烘烤装置对光阻进行烘烤，以除去光阻中有机溶剂之目的，蒸发出来的有机溶剂再通过排气抽走。目前烘烤装置的排气管道由于处于室温环境，排出来热的有机溶剂容易在管道内壁凝结，时间久了(一般量产2年后)会使排气管道孔径变小，严重影响排气效果。排气效果降低，有机溶剂无法及时排走，会在烘房中停留、二次凝结，造成烘房室内环境污染，产品异常等危害。

发明内容

本发明提供了一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法，以解决现有技术中有机溶剂凝结在管道内壁的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种烘烤装置，该烘烤装置用于对显示面板进行烘烤，以去除显示面板中的有机溶剂，该烘烤装置包括：烤箱、管道、加热装置和排气扇，烤箱用于放置显示面板，烤箱开设有通风口，管道与通风口连通，加热装置与管道连接，加热装置用于加热管道，排气扇朝向通风口，排气扇用于将烤箱中的气体从管道中排出。

可选的，加热装置包括电阻丝，电阻丝设置在管道内，电阻丝用于加热管道内的气体。

可选的，加热装置包括电阻丝，电阻丝设置在管道的外壁上，电阻丝用于加热管道。

可选的，加热装置还包括导热硅胶件，电阻丝与导热硅胶件连接，导热硅胶件与管道连接。

可选的，管道包括第一管和第二管，第一管嵌套于第二管中，排气扇用于将烤箱中的气体从第一管和第二管中排出。

可选的，加热装置包括电阻丝，电阻丝设置在第一管和第二管之间，电阻丝用于加热第一管和第二管之间的气体。

可选的，加热装置包括电阻丝，电阻丝设置在第一管内，电阻丝用于加热第一管内的气体。

可选的，加热装置还包括导热硅胶件，电阻丝与导热硅胶件连接，导热硅胶件与第一管连接。

制作方法包括在玻璃基板上涂布形成光阻层，烘烤装置对光阻层进行烘烤，电性导通排气扇和加热装置，以将烤箱中的气体从被加热的管道中排出。

烘烤装置还包括温控器和处理器，处理器分别与加热装置和温控器电性连接，制作方法还包括温控器检测管道的温度，并生成第一控制信号，处理器响应于第一控制信号，以控制加热装置的通电状态。

本发明的有益效果为：烘烤装置包括：烤箱、管道、加热装置和排气扇，烤箱用于放置显示面板，烤箱开设有通风口，管道与通风口连通，加热装置与管道连接，加热装置用于加热管道，排气扇朝向通风口，排气扇用于将烤箱中的气体从管道中排出。本发明的烘烤装置能够减小有机溶剂在管道内壁凝结，增大设备的使用年限。

附图说明

图1是本发明提供的烘烤装置的一实施例的结构示意图；

图2是本发明提供的烘烤装置的另一实施例的结构示意图；

图3是本发明提供的烘烤装置的管道的截面示意图；

图4是本发明提供的显示面板的制作方法的一实施例的流程示意图；

图5是本发明提供的显示面板的制作方法的另一实施例的流程示意图；

图6是本发明提供的烘烤装置的一实施例的工作原理示意图。