[发明专利]一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法有效
| 申请号: | 201910985265.4 | 申请日: | 2019-10-16 |
| 公开(公告)号: | CN110824846B | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
| 发明(设计)人: | 喻建兵 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;H05B3/06;H05B3/02 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 李汉亮 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 烘烤 装置 显示 面板 制作方法 | ||
1.一种烘烤装置,所述烘烤装置用于对显示面板进行烘烤,以去除所述显示面板中的有机溶剂,其特征在于,所述烘烤装置包括:烤箱、管道、加热装置和排气扇,所述烤箱用于放置所述显示面板,所述烤箱开设有通风口,所述管道与所述通风口连通,所述加热装置与所述管道连接,所述加热装置用于加热所述管道,所述排气扇朝向所述通风口,所述排气扇用于将所述烤箱中的气体从所述管道中排出;
其中,所述管道包括第一管和第二管,所述第一管和所述第二管均用于允许所述烤箱中的气体通过,所述第一管嵌套于所述第二管中,使得通过所述第二管的气体对所述第一管进行加热,所述排气扇用于将所述烤箱中的气体从所述第一管和所述第二管中排出。
2.根据权利要求1所述的烘烤装置,其特征在于,所述加热装置包括电阻丝,所述电阻丝设置在所述第一管和所述第二管之间,所述电阻丝用于加热所述第一管和所述第二管之间的气体。
3.根据权利要求2所述的烘烤装置,其特征在于,所述加热装置包括电阻丝,所述电阻丝设置在所述第一管内,所述电阻丝用于加热所述第一管内的气体。
4.根据权利要求2或者3所述的烘烤装置,其特征在于,所述加热装置还包括导热硅胶件,所述电阻丝与所述导热硅胶件连接,所述导热硅胶件与所述第一管连接。
5.一种显示面板的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在玻璃基板上涂布形成光阻层;
在权利要求1至4任一项所述的烘烤装置中对所述光阻层进行烘烤;
电性导通排气扇和加热装置,以将烤箱中的气体从被加热的管道中排出。
6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述烘烤装置还包括温控器和处理器,所述处理器分别与所述加热装置和所述温控器电性连接;所述制作方法还包括:
所述温控器检测所述管道的温度,并生成第一控制信号;
所述处理器响应于所述第一控制信号,以控制所述加热装置的通电状态。
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