[发明专利]管芯边缘裂纹监测系统

权利要求书

1.一种裂纹监测系统，该裂纹监测系统包括：

半导体管芯，该半导体管芯包括中间区域和围绕所述中间区域的边缘区域；以及

裂纹传感器，该裂纹传感器设置在所述半导体管芯的所述边缘区域中，

其中，所述裂纹传感器包括：

第一导线和第二导线，所述第一导线和所述第二导线设置成彼此间隔开；

导电可扩散材料图案，所述导电可扩散材料图案设置成与所述第一导线和所述第二导线间隔开；以及

扩散阻挡层，所述扩散阻挡层封装所述导电可扩散材料图案。

2.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，其中，所述导电可扩散材料图案设置在所述第一导线和所述第二导线之间。

3.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，其中，所述第一导线和所述第二导线以及所述导电可扩散材料图案延伸为基本上围绕所述半导体管芯的所述中间区域。

4.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，其中，所述第一导线和所述第二导线彼此电隔离。

5.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，其中，所述导电可扩散材料图案与所述第一导线和所述第二导线电隔离。

6.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，其中，所述第一导线和所述第二导线中的每一个包括铝材料。

7.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，其中，所述第一导线和所述第二导线中的每一个包括钨材料。

8.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，其中，所述导电可扩散材料图案包括铜材料。

9.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，该裂纹监测系统还包括：

裂纹监测器，该裂纹监测器被配置为检测所述裂纹传感器中的电短路。

10.根据权利要求9所述的裂纹监测系统，其中，所述裂纹监测器被配置为检测所述第一导线和所述第二导线之间的电短路，并且当所述第一导线和所述第二导线通过所述第一导线和所述第二导线之间的电短路而彼此电连接时，所述边缘区域被认为是具有裂纹的缺陷区域。

11.根据权利要求10所述的裂纹监测系统，其中，当由于最初被包括在所述导电可扩散材料图案中并且已经沿所述裂纹扩散为形成将所述第一导线和所述第二导线彼此电连接的扩散层的可扩散材料而导致所述第一导线和所述第二导线彼此电连接时，所述边缘区域被认为是具有所述裂纹的所述缺陷区域。

12.根据权利要求1所述的裂纹监测系统，该裂纹监测系统还包括：

裂纹监测器，该裂纹监测器被配置为通过第一输入端子将第一测试输入信号施加到所述第一导线，并且通过第二输出端子提供从所述第二导线输出的第一测试输出信号的电流值。

13.根据权利要求12所述的裂纹监测系统，

其中，当所述第一导线和所述第二导线彼此电绝缘和电隔离并且所述第一测试输出信号具有第一电流值时，所述半导体管芯具有正常状态，并且

其中，如果所述第一测试输出信号的电流值与当所述半导体管芯具有所述正常状态时的所述第一测试输出信号的所述第一电流值不同，则所述边缘区域被认为是具有所述裂纹的缺陷区域。

14.根据权利要求13所述的裂纹监测系统，其中，所述第一电流值基本上为零安培。