[发明专利]基于光热电效应的圆偏振光的探测器、系统及制备方法

权利要求书

1.一种基于光热电效应的圆偏振光的探测器，其特征在于，所述探测器包括：接电带、金属膜和电极；

所述接电带的一端挖设多个相互平行的孔洞和一个贯穿所有相互平行的孔洞的槽，多个所述相互平行的孔洞与所述接电带的夹角小于90度，所述槽与所述接电带的上下平面均平行，所述接电带挖设孔洞和槽的一端上还覆盖一层金属膜，所述接电带的另一端设置有所述电极，所述金属膜与所述电极电连接；

所述槽和多个所述相互平行的孔洞用于增强对圆偏振光的吸收；利用所述金属膜的光热效应，所述接电带覆盖所述金属膜的一端与所述接电带未覆盖所述金属膜的一端产生温差，所述金属膜和所述电极之间产生电信号，根据所述电信号探测圆偏振光。

2.根据权利要求1所述的基于光热电效应的圆偏振光的探测器，其特征在于，所述探测器还包括挡光层，所述挡光层设置在所述接电带未设置所述金属膜的一端。

3.根据权利要求2所述的基于光热电效应的圆偏振光的探测器，其特征在于，所述挡光层的材料为氧化钛和炭黑中任意一种。

4.根据权利要求1所述的基于光热电效应的圆偏振光的探测器，其特征在于，所述金属膜的材料包括：金、银和钼中至少一种。

5.根据权利要求1所述的基于光热电效应的圆偏振光的探测器，其特征在于，所述接电带的材料为绝缘材料。

6.根据权利要求1所述的基于光热电效应的圆偏振光的探测器，其特征在于，所述探测器还包括金属颗粒层，所述金属颗粒层设置在所述孔洞和所述槽的底部。

7.一种基于光热电效应的圆偏振光的探测器系统，其特征在于，所述系统包括：电流测量装置和权利要求1-6任意一项所述的基于光热电效应的圆偏振光的探测器，所述电流测量装置的正极和负极分别与所述接电带两端的金属膜和电极电连接。

8.根据权利要求7所述的基于光热电效应的圆偏振光的探测器系统，其特征在于，所述电流测量装置包括：电流表、电压表和电能表中任意一种。

9.一种基于光热电效应的圆偏振光的探测器制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

使用离子束刻蚀法在接电带上刻蚀多个相互平行的孔洞和一个贯穿所有所述孔洞的槽；

使用电子束蒸发镀膜法在所述接电带上具有槽和孔洞的一端镀金属膜；

使用电子束蒸发镀膜法在所述接电带的另一端镀金属节，将所述金属节作为电极。

10.根据权利要求9所述的基于光热电效应的圆偏振光的探测器制备方法，其特征在于，所述使用电子束蒸发镀膜法在所述接电带上具有槽和孔洞的一端镀金属膜的步骤，包括：

使用电子束蒸发镀膜法垂直于所述接电带，对所述接电带具有槽和孔洞的一端镀金属膜；

使用电子束蒸发镀膜法垂直于所述孔洞的一个侧壁，对所述孔洞的一个侧壁和槽镀金属膜；

使用电子束蒸发镀膜法垂直于所述孔洞的另一个侧壁，对所述孔洞的另一个侧壁和槽镀金属膜。