[发明专利]角度测量方法、反射镜系统及激光雷达

说明书

本公开提供了一种角度测量方法，适于对微动镜进行角度测量，所述方法包括：通过光源，向所述微动镜发射光束；通过光敏元件，测量从所述微动镜反射回来的所述反射光束，产生第一输出；关闭所述光源，测量所述光敏元件的第二输出；利用所述第二输出校正所述第一输出，计算所述微动镜的角度。本公开还提供一种反射镜系统以及包括所述反射镜系统的激光雷达。

技术领域

本公开涉及光电技术领域，尤其涉及一种可适于对微动镜进行角度测量的角度测量方法、一种反射镜系统以及一种激光雷达。

背景技术

在激光雷达中，经常需要使用可以微动的反射镜系统来对光束进行反射，以实现对一定视场范围内的物体进行探测。为了实现对光束的精确控制，换言之，为了实现对物体的精确探测，就需要实时地精确测量反射镜的微动角度。

但在现有的反射镜角度测量方法中，经常会受到光电器件暗电流和/或环境光的影响，进而造成角度测量结果存在较大误差。

因此，如何提高角度测量的精确度，减小环境变化(比如高温、环境强光等)对测角精度的影响，是本领域中持续存在的改进需求。

背景技术部分的内容仅仅是发明人所知晓的技术，并不当然代表本领域的现有技术。

发明内容

有鉴于现有技术中的至少一个缺陷，本公开提供一种角度测量方法，适于对微动镜进行角度测量，所述方法包括：

通过光源，向所述微动镜发射光束；

通过光敏元件，测量从所述微动镜反射回来的所述反射光束，产生第一输出；

关闭所述光源，测量所述光敏元件的第二输出；

利用所述第二输出校正所述第一输出，计算所述微动镜的角度。

根据本公开的一个方面，所述光源为激光器，所述光敏元件为PSD位置传感器，所述微动镜为振镜，所述第一输出和第二输出为电流值或电压值，

其中所述利用第二输出校正第一输出计算微动镜的角度包括：将第二输出从第一输出中减去，作为修正的第一输出，利用所述修正的第一输出，计算所述微动镜的角度。

根据本公开的一个方面，所述微动镜在一预设范围内来回摆动，所述关闭光源的步骤包括：在所述微动镜回摆时刻关闭所述光源。

根据本公开的一个方面，所述关闭光源、测量光敏元件的第二输出的步骤包括：多次关闭所述光源，测量所述光敏元件的多次输出、并计算平均值作为所述第二输出。

根据本公开的一个方面，所述的角度测量方法还包括：测量所述微动镜和/或光敏元件的温度，其中所述光源关闭的时长取决于所述微动镜的温度。

根据本公开的一个方面，所述温度越高，所述光源关闭的时长越长，

其中当所述温度高于预设值时，所述光源关闭的时长为第一时长；当所述温度低于预设值时，所述光源关闭的时长为第二时长，其中所述第一时长大于第二时长。

根据本公开的一个方面，所述关闭光源、测量光敏元件的第二输出的步骤包括：关闭所述光源后，经一延迟时间，测量所述光敏元件的第二输出。

根据本公开的一个方面，所述光敏元件为光电二极管或PIN型二极管，所述微动镜为激光雷达的振镜或摆镜。

本公开还提供一种反射镜系统，包括：

微动镜；

光源，所述光源可开启或关闭，开启时，所述光源可向所述微动镜发射光束，所述光束被所述微动镜反射产生反射光束；

光敏元件，所述光敏元件可从所述微动镜接收所述反射光束并产生第一输出，并在所述光源关闭的情况下产生第二输出；