[发明专利]角度测量方法、反射镜系统及激光雷达

权利要求书

1.一种角度测量方法，适于对微动镜进行角度测量，所述方法包括：

通过光源，向所述微动镜发射光束；

通过光敏元件，测量从所述微动镜反射回来的所述反射光束，产生第一输出；

关闭所述光源，测量所述光敏元件的第二输出；

利用所述第二输出校正所述第一输出，计算所述微动镜的角度。

2.根据权利要求1所述的角度测量方法，其中所述光源为激光器，所述光敏元件为PSD位置传感器，所述微动镜为振镜，所述第一输出和第二输出为电流值或电压值，

其中所述利用第二输出校正第一输出计算微动镜的角度包括：将第二输出从第一输出中减去，作为修正的第一输出，利用所述修正的第一输出，计算所述微动镜的角度。

3.根据权利要求1或2所述的角度测量方法，其中所述微动镜在一预设范围内来回摆动，所述关闭光源的步骤包括：在所述微动镜回摆时刻关闭所述光源。

4.根据权利要求3所述的角度测量方法，其中所述关闭光源、测量光敏元件的第二输出的步骤包括：多次关闭所述光源，测量所述光敏元件的多次输出、并计算平均值作为所述第二输出。

5.根据权利要求3所述的角度测量方法，还包括：测量所述微动镜和/或光敏元件的温度，其中所述光源关闭的时长取决于所述温度。

6.根据权利要求5所述的角度测量方法，其中所述温度越高，所述光源关闭的时长越长；

其中当所述温度高于预设值时，所述光源关闭的时长为第一时长；当所述温度低于预设值时，所述光源关闭的时长为第二时长，其中所述第一时长大于第二时长。

7.根据权利要求1或2所述的角度测量方法，其中所述关闭光源、测量光敏元件的第二输出的步骤包括：关闭所述光源后，经一延迟时间，测量所述光敏元件的第二输出。

8.根据权利要求1所述的角度测量方法，其中所述光敏元件为光电二极管或PIN型二极管，所述微动镜为激光雷达的振镜或摆镜。

9.一种反射镜系统，包括：

微动镜；

光源，所述光源可开启或关闭，开启时，所述光源可向所述微动镜发射光束，所述光束被所述微动镜反射产生反射光束；

光敏元件，所述光敏元件可从所述微动镜接收所述反射光束并产生第一输出，并在所述光源关闭的情况下产生第二输出；

角度计算单元，所述角度计算单元配置成可利用所述第二输出校正所述第一输出，计算所述微动镜的角度。

10.根据权利要求9所述的反射镜系统，其中所述光源为激光器，所述光敏元件为PSD位置传感器，所述微动镜为振镜，所述第一输出和第二输出为电流值或电压值，

其中所述角度计算单元配置成：将第二输出从第一输出中减去，作为修正的第一输出，利用所述修正的第一输出，计算所述微动镜的角度。

11.根据权利要求9或10所述的反射镜系统，其中所述微动镜配置成在一预设范围内来回摆动，所述光源配置成在所述微动镜回摆时刻关闭光源。

12.根据权利要求11所述的反射镜系统，其中所述光源配置成在一个摆动周期内多次关闭，测量所述光敏元件的输出的平均值作为所述第二输出。

13.根据权利要求11所述的反射镜系统，还包括温度传感器，所述温度传感器配置成测量所述微动镜和/或光敏元件的温度，其中所述光源关闭的时长取决于所述微动镜的温度。

14.根据权利要求13所述的反射镜系统，其中当所述温度越高，所述光源关闭的时长越长，

其中当所述温度高于预设值时，所述光源关闭的时长为第一时长；当所述微动镜的温度低于预设值时，所述光源关闭的时长为第二时长，其中所述第一时长大于第二时长。