[发明专利]探针装置、电气检查装置、以及电气检查方法

说明书

本发明提供能廉价且正确地进行印刷线路板的电气检查的探针装置、电气检查装置以及电气检查方法。一种用于印刷线路板的电气检查的探针装置，具备至少一个探针组，该至少一个探针组包括相互电连接的多根线探针，并且该多根线探针构成为能够与设于印刷线路板上且沿预定方向延伸的布线该沿预定方向同时抵接。

技术领域

本发明涉及探针装置、电气检查装置、以及电气检查方法，更详细而言，涉及在印刷线路板的电气检查中使用的探针装置、包括该探针装置的电气检查装置、以及使用了该电气检查装置的电气检查方法。

背景技术

伴随电子设备中的信号传输速度的高速化，作为用于高速传输信号的布线，大多利用细线同轴缆线。近年来，还需求多个高速信号的并列传输、节省空间。因此，正在推进比细线同轴缆线更节省空间并且能够进行设备内布线的印刷线路板的应用。例如，专利文献1中记载有一种设有多根用于传输高速信号的高速信号传输用布线(以下也简单地称作“信号线”。)的印刷线路板。

需要测定设有高速信号传输用布线的印刷线路板的电气特性。专利文献2中记载有一种具有信号引脚和接地引脚的同轴探针。并且，公知一种与检查对象的印刷线路板的端子相符地以窄间距配置有多个探针的探针卡。

现今，公知一种使用具有线探针等的探针针体的检查夹具来检查印刷线路板的布线的直流电阻、绝缘电阻等基本电气特性的技术。在该检查夹具中，在与检查对象的印刷线路板的端子对应的位置配设有探针针体。在检查夹具与测定器之间设有用于切换测定用信号的输出目的地的切换器。在进行电气检查时，使探针针体一根一根地与印刷线路板的多个端子(信号端子、接地端子等)接触。之后，通过由切换器切换测定用信号的输出目的地，来进行针对印刷线路板的多个布线的电气检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特愿2017-239767

专利文献2：日本特开2001-343406号公报

发明内容

发明所要解决的课题

需求廉价地进行设有多个信号线的印刷线路板的电气特性、具体为该信号线的特性阻抗、交流信号的传输损失的频率特性、邻接的信号线间的串扰等检查。并且，当然需求正确的电气检查。

除此之外，还期望能够高效地进行印刷线路板的电气检查。例如，为了高效地测定串扰，需要使探针同时一并地与以窄间距配置的多个信号线的端子分别接触。但是，若想要使用专利文献2所记载的同轴探针，则需要按照每个检查对象的信号线使同轴探针移动，从而难以高效地进行电气检查。并且，由于同轴探针的信号引脚与接地引脚的间隔较大，所以在印刷线路板的布线间距较窄的情况下，有在同轴探针中无法对应的担忧。

另一方面，在使用线探针等的探针针体的检查夹具的情况下，通过由切换器切换测定用信号的输出目的地，能够高效地进行针对印刷线路板的多个布线的电气检查。然而，尤其在高频信号的情况下，在探针针体与印刷线路板的布线之间难以取得阻抗匹配。在特性阻抗不匹配的情况下，在探针针体与布线之间的接触部分，测定用信号的反射变大，无法进行正确的电气检查。

在使用探针卡来进行电气检查的情况下，使探针卡的多个探针一并地与印刷线路板的多个信号线接触。因此，能够高效地进行电气检查。另外，由于探针卡与印刷线路板间的距离比测定用信号的波长足够短，所以即使无法取得阻抗匹配，也能够抑制接触部分的测定用信号的反射。

然而，探针卡是与检查对象的印刷线路板的端子的配置相符制成的专用件。因此，在印刷线路板的端子的配置变更了的情况下，需要制成新的探针卡。探针卡非常昂贵，制成所需的时间也较长，因而不适于廉价地检查印刷线路板的电气特性。

本发明是基于上述的技术认识而完成的，其提供能够廉价且正确地进行印刷线路板的电气检查的探针装置、电气检查装置、以及电气检查方法。