[发明专利]探针装置、电气检查装置、以及电气检查方法

权利要求书

1.一种探针装置，是用于印刷线路板的电气检查的探针装置，其特征在于，

具备至少一个探针组，该至少一个探针组包括相互电连接的多根探针针体，并且上述多根探针针体构成为能够与设于印刷线路板上且沿预定方向延伸的布线沿上述预定方向同时抵接。

2.根据权利要求1所述的探针装置，其特征在于，

上述至少一个探针组的特性阻抗与上述印刷线路板的上述布线的特性阻抗实质上匹配。

3.根据权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于，

上述至少一个探针组的探针间距不足上述探针针体的直径的四倍。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的探针装置，其特征在于，

作为上述至少一个探针组，具备相互平行地配置的第一探针组以及第二探针组，

上述第一探针组的长度比上述第一探针组与上述第二探针组之间的间隔大，并且上述第二探针组的长度比上述间隔大。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的探针装置，其特征在于，

上述多根探针针体配置在一条直线上。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的探针装置，其特征在于，

上述多根探针针体在从上述预定方向观察时呈交错状地配置。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的探针装置，其特征在于，

作为上述至少一个探针组，具备构成为能够抵接于上述布线的一端的第一探针组和构成为能够抵接于上述布线的另一端的第二探针组。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的探针装置，其特征在于，

作为上述至少一个探针组，具备相互平行地配置的第一探针组以及第二探针组，

在上述印刷线路板设有接地线和与上述接地线相邻的信号线作为上述布线，

上述第一探针组构成为能够抵接于上述接地线，并且上述第二探针组构成为能够抵接于上述信号线。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的探针装置，其特征在于，

作为上述至少一个探针组，具备相互平行地配置的第一探针组、第二探针组以及第三探针组，

在上述印刷线路板设有信号线、隔着上述信号线的第一接地线以及第二接地线作为上述布线，

上述第一探针组构成为能够抵接于上述第一接地线，上述第二探针组构成为能够抵接于上述信号线，并且上述第三探针组构成为能够抵接于上述第二接地线。

10.根据权利要求9所述的探针装置，其特征在于，

上述第二探针组的长度为上述第一探针组的长度以下，并且为上述第三探针组的长度以下。

11.根据权利要求10所述的探针装置，其特征在于，

上述第一探针组以及上述第三探针组的探针间距比上述第二探针组的探针间距小。

12.根据权利要求9所述的探针装置，其特征在于，

上述第一探针组至上述第三探针组所包括的探针针体在从与上述预定方向正交的方向观察时配置在一条直线上。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的探针装置，其特征在于，还具备：

第一固定部件，其固定上述至少一个探针组所包括的探针针体的基端侧；

第二固定部件，其固定上述至少一个探针组所包括的探针针体的前端侧；以及

分隔部件，其连接上述第一固定部件与上述第二固定部件。

14.一种电气检查装置，是检查印刷线路板的电气特性的装置，其特征在于，具备：

权利要求1～13中任一项所述的探针装置；和

测定器，其向上述探针装置输出测定用信号，并输入由上述探针装置检测到的信号。

15.一种电气检查方法，是使用权利要求14所述的电气检查装置来检查印刷线路板的电气特性的方法，其特征在于，具备：

使上述至少一个探针组抵接于上述布线的工序；

经由抵接于上述印刷线路板的信号线的探针组向上述信号线施加测定用信号的工序；以及

输入由上述探针装置检测到的信号的工序。