[发明专利]判断黑硅制绒工艺稳定性的方法及太阳能电池的制作方法

权利要求书

1.判断黑硅制绒工艺稳定性的方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1：取相同制绒工艺下不同时间点完成制绒的黑硅样片，进行反射率测试；

S2：判断所述反射率是否在预设反射率的范围内，若是，则进入步骤S3，否则调整制绒工艺后再进入步骤S1，所述预设反射率为15-19％；

S3：选取反射率差值在预设反射率差值范围内的黑硅样片，在相同的镀膜条件下进行镀膜处理，所述预设反射率差值为0-1％；

S4：对镀膜后的黑硅样片进行色差分析，若色差在预设色差范围内，则判定制绒工艺在所述不同时间点之间稳定，否则调整制绒工艺后再进入步骤S1，所述预设色差为0-1.5NBS。

2.如权利要求1所述的判断黑硅制绒工艺稳定性的方法，其特征在于：所述镀膜处理采用等离子体增强化学气相沉积法在黑硅样片表面形成镀膜。

3.如权利要求2所述的判断黑硅制绒工艺稳定性的方法，其特征在于：所述镀膜为氮化硅镀膜。

4.黑硅太阳能电池的制作方法，其特征在于：通过权利要求1至3任一项所述的判断黑硅制绒工艺稳定性的方法得到制绒工艺稳定的制绒工艺条件，在所述制绒工艺条件下制备黑硅片，所述黑硅片用于制作太阳能电池。