[发明专利]一种可折叠柔性的透明阳极及其制作方法

说明书

本发明公开了一种可折叠柔性的透明阳极，包括涂布于OLED和柔性基板之间的ITO膜和纳米银线透明导电膜，ITO膜的图案与纳米银线透明导电膜的导线图案重合，ITO膜位于OLED一侧，纳米银线透明导电膜位于柔性基板一侧，所述ITO膜的厚度为10‑20nm，本发明的透明阳极兼具ITO膜的功函数(work function)以及纳米银线薄膜的延展性与导电性，特别适合应用于可折叠柔性OLED显示面板以及OLED照明，即使OLED经过多次弯折造成ITO断裂，也不会影响阳级的导电性。

技术领域

本发明属于OLED显示面板领域，更具体的说涉及一种可折叠柔性的透明阳极及其制作方法。

背景技术

可携式电子产品设计上要求轻薄短小，但又希望显示面积大。可折叠柔性显示面板的出现正好满足这个需求。

不管是柔性还是刚性OLED，显示面板透明电极是必不可少的一部分，目前显示面板透明电极的制作方法传统是在基板镀上ITO膜后用黄光蚀刻制程形成导线图案。由于传统ITO透明导电膜缺乏延展性(折叠时易断)及阻抗过高,不适用于可折叠及中大型显示屏方面。而且由于ITO中铟元素储量有限，随着其储量不断减少，IT0的成本会大幅增加。

目前市场上也已经有开发了纳米银线的导电膜，纳米银线透明导电膜的延展性高、透光度高、阻抗低，是最适合用于可折叠柔性显示面板的透明导电膜材料。但是作为OLED屏的阳极，银的功函数并不匹配，不能直接作为阳极。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种透明阳极兼具ITO膜的功函数(workfunction)以及纳米银线薄膜的延展性与导电性，特别适合应用于可折叠柔性OLED显示面板以及OLED照明，即使OLED经过多次弯折造成ITO断裂，也不会影响阳级的导电性。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种可折叠柔性的透明阳极，包括涂布于OLED和柔性基板之间的ITO膜和纳米银线透明导电膜，ITO膜的图案与纳米银线透明导电膜的图案重合，ITO膜位于OLED一侧，纳米银线透明导电膜位于柔性基板一侧。

进一步的所述ITO膜的厚度为10-20nm。

一种可折叠柔性的透明阳极制作方法，包括如下步骤：

1)制版，根据导线图案制作图案凹版，并将图案凹版贴附在凹版移印设备的凹版滚筒上；

2)对位，将待印刷的工件与凹版移印设备的移印滚筒对齐，使导线图案能够准确印刷到待印刷的工件准确位置；

3)印刷，利用凹版移印设备将纳米银线墨水印刷在待印刷的工件上形成纳米银线导线图案；

4)热处理，先用100度烘箱，对印刷完的工件进行热固化1分钟；然后采用强光照射加热对纳米银线导线图案表面加热2分钟以内，完成对表面的纳米银线的熔焊；完成纳米银线透明导电膜的制作；

5)镀ITO膜，采用溅镀法在纳米银线透明导电膜上表面镀上一层ITO膜，以黄光蚀刻制程工艺吃出和纳米银线透明导电膜一样的导线图案，完成透明阳极的制作。

进一步的在步骤1)中，通过黄光蚀刻制程工艺在平整的铜片上制作导线图案凹版，并在图案凹版表面镀铬。

进一步的步骤2)中为粗对位，在待印刷图案的精准度大于100um时，采用靠边对位对工件定位。

进一步的步骤2)中为精对位，在待印刷图案的精准度小于100um时，利用CCD摄像头与软件模拟行程对位法对工件定位。

进一步的精对位包括如下步骤，

2.1)初印，将校正样片采用靠边对位固定在移动平台上，而后由起点出发进行第一次印刷；