[发明专利]一种可折叠柔性的透明阳极及其制作方法

权利要求书

1.一种可折叠柔性的透明阳极，其特征在于：包括涂布于OLED和柔性基板之间的ITO膜和纳米银线透明导电膜，ITO膜的图案与纳米银线透明导电膜的图案重合，ITO膜位于OLED一侧，纳米银线透明导电膜位于柔性基板一侧；所述ITO膜的厚度为10-20nm；

其制作方法包括如下步骤：

1)制版，根据导线图案制作图案凹版，并将图案凹版贴附在凹版移印设备的凹版滚筒上；

2)对位，将待印刷的工件与凹版移印设备的移印滚筒对齐，使导线图案能够准确印刷到待印刷的工件准确位置；

其为精对位，在待印刷图案的精准度小于100um时，利用CCD摄像头与软件模拟行程对位法对工件定位；

2.1)初印，将校正样片采用靠边对位固定在移动平台上，而后由起点出发进行第一次印刷；

2.2)校准，移动平台回到起点位置，凹版移印设备的移印滚筒复位，CCD摄像头核对印刷定位标记与校正样片上的定位标记的位置差，根据位置差运用模拟算法重新定义移动平台的起点位置，通过X、Y、U轴校准移动平台；

2.3)重复校准，移动平台由步骤2.2)中重新定义的起点位置作为起点进行第二次印刷，通过CCD摄像头核对印刷定位标记与校正样片上的定位标记的位置差，若存在位置差则重复步骤2.2)直至无位置差，若无位置差，则校准完成，且此时移动平台所在的起点位置定义为零点位置；

2.4)CCD摄像头确位，将CCD摄像头移动至零点位置并使CCD摄像头虚拟定位标记、印刷定位标记和校正样片定位标记重合；

3)印刷，利用凹版移印设备将纳米银线墨水印刷在待印刷的工件上形成纳米银线导线图案；

将待印刷的可折叠柔性基板固定在治具上，此时CCD摄像头所在位置为标准的零点位置，CCD摄像头保持不动，通过X、Y、U三轴马达来补偿偏差量，使可折叠柔性基板上的标记与CCD摄像头虚拟定位标记重合，重合后整个移动平台即启动向卸料区域移动，同时凹版移印设备启动，移印滚筒将纳米银线墨水印刷在可折叠柔性基板相对应的表面；

4)热处理，先用100摄氏度烘箱，对印刷完的工件进行热固化1分钟；然后采用强光照射加热对纳米银线导线图案表面加热2分钟以内，完成对表面的纳米银线的熔焊；完成纳米银线透明导电膜的制作；

5)镀ITO膜，采用溅镀法在纳米银线透明导电膜上表面镀上一层ITO膜，以黄光蚀刻制程工艺吃出和纳米银线透明导电膜一样的导线图案，完成透明阳极的制作。

2.根据权利要求1所述的可折叠柔性的透明阳极，其特征在于：在步骤1)中，通过黄光蚀刻制程工艺在平整的铜片上制作图案凹版，并在图案凹版表面镀铬。

3.根据权利要求2所述的可折叠柔性的透明阳极，其特征在于：所述CCD摄像头设有两个；印刷定位标记和校正样片定位标记的数量分别有两个；印刷定位标记、校正样片定位标记、CCD摄像头一一对应，且分散对角分布。